Fonctionnement et précautions quotidiennes

• Que faut-il noter lors de l'utilisation quotidienne d'un outil d'exposition ?

• Lors du remplacement d'une lampe au mercure, assurez-vous de vérifier et de confirmer la polarité correcte.
• Avant d'allumer la lampe UV, confirmez que le ventilateur d'extraction fonctionne correctement, et vérifiez si la tension et le courant en circuit ouvert sont normaux et si le nombre d'heures de fonctionnement accumulées a dépassé la durée de vie de la lampe.
• Avant de faire fonctionner le système, vérifiez si les conditions de pression positive et négative sont normales.
• Après avoir remplacé le support de masque, assurez-vous que toutes les vis sont bien serrées pour éviter des problèmes de décalage lors de l'exposition au contact.

Séquence de mise sous tension et d'allumage de la lampe

Avant de mettre le système sous tension, assurez-vous que les fonctions N₂, air sec comprimé (CDA) et vide fonctionnent normalement. Ensuite, mettez l'équipement sous tension, allumez l'unité d'alimentation, allumez la lampe au mercure et attendez que le système de lampe se stabilise.

Quelles précautions doivent être prises lorsque la lampe UV est allumée ?

Lors de l'allumage de la lampe UV, confirmez toujours que le ventilateur d'extraction fonctionne correctement.

Quelles précautions doivent être prises lors du remplacement d'une lampe à mercure ?

Lors du remplacement d'une lampe à mercure, des gants en latex de qualité salle blanche doivent être portés, et tout contact direct avec l'ampoule de la lampe doit être évité.

Dépannage de la lampe à mercure et de la source lumineuse

• Quelles sont les raisons possibles pour lesquelles une lampe à mercure ne s'allume pas ?

• Vérifiez si le nombre d'heures de fonctionnement a dépassé la durée de vie de la lampe.
• Vérifiez si le tube de la lampe présente des fissures.
• Vérifiez si la dissipation de la chaleur fonctionne correctement.

Combien de temps une lampe à mercure peut-elle être utilisée ?

La durée de vie d'une lampe à mercure dépend principalement du nombre de cycles d'allumage et du nombre total d'heures de fonctionnement.
Dans des conditions de fonctionnement normales, la durée de vie varie en fonction de la puissance de la lampe (350W, 500W, 1000W, 2000W et 5000W).
Veuillez noter que les systèmes d'exposition contiennent plusieurs composants optiques, dont la plupart sont recouverts de films optiques spécialisés.Ces revêtements peuvent se dégrader avec le temps en raison des conditions de température, d'humidité et de pH.Des inspections régulières de la fonctionnalité et de l'apparence sont recommandées, avec des dossiers tenus à jour.Si des problèmes sont identifiés, veuillez consulter directement le support professionnel M&R.

Dépannage et maintenance

Si le système s'arrête soudainement et ne peut pas être réinitialisé, quelle devrait être la première étape ?

Tout d'abord, vérifiez les codes d'alarme et les journaux d'erreurs. Confirmez si les fournitures utilitaires externes (électricité, vide, eau de refroidissement et azote) sont anormales, puis tentez une réinitialisation du système.

Si le système rencontre une condition anormale et ne peut pas être réinitialisé, comment doit-il être géré ?

• Examinez les messages d'alarme et identifiez le point anormal en fonction des informations fournies.
• Éteignez le système pendant 5 à 15 minutes, puis rallumez-le pour l'initialisation.
• Contactez le fabricant d'équipement d'origine (OEM) pour obtenir de l'aide.

Comment vérifier les anomalies de communication PLC ?

Tout d'abord, confirmez si les interfaces de communication (EtherCAT / Profibus / RS-485 / Ethernet) fonctionnent correctement. Vérifiez les câbles et les connecteurs pour déconnexion ou mauvais contact. Vérifiez si les indicateurs d'état du PLC (LEDs RUN/ERR) sont correctement illuminés.

Comment doit-on gérer un verrouillage qui ne peut pas être libéré ?

Vérifiez les messages d'alarme sur le PLC ou l'HMI. Inspectez manuellement les capteurs (interrupteurs de pression, signaux de contact) pour détecter des anomalies, et confirmez que les conditions physiques de l'équipement (comme les portes étant complètement fermées) sont satisfaites.

Comment diagnostiquer les anomalies du moteur (comme le surintensité ou la surchauffe) ?

Vérifiez les codes d'alarme de l'entraînement, mesurez si les courants des moteurs triphasés sont équilibrés, et vérifiez que l'eau de refroidissement ou les ventilateurs fonctionnent normalement. Si les anomalies persistent, le module d'entraînement ou le moteur doit être remplacé.

Que doit-on inspecter dans le système de contrôle électrique lors de la maintenance périodique ?

Nettoyage du filtre du ventilateur de refroidissement et inspection de la tension de la batterie du PLC.

Quelles utilités doivent être fournies par l'installation pour les outils d'exposition ?

En général, un CDA stable à 4–6 kg, N₂ à 3–5 kg et une alimentation électrique sont nécessaires. Selon les spécifications de l'équipement, une alimentation monophasée de 220 V ou triphasée de 220 V est requise, avec des besoins en courant variant de 15 à 50 A. Les exigences peuvent varier selon le modèle de l'équipement.

• Autres anomalies mécaniques et méthodes de dépannage

• Variation de la vitesse du cylindre : Vérifiez si la pression positive est normale ou s'il y a des fuites d'air.
• Boutons non réactifs : Défaillance du bouton ou déconnexion du câblage.
• Pas de lumière pendant l'exposition : Vérifiez le système d'alimentation, les interrupteurs d'alimentation et l'état de la lampe au mercure.
  (Veuillez contacter nos ingénieurs pour l'entretien et les actions correctives.)