Operación y precauciones diarias

• ¿Qué se debe tener en cuenta durante la operación diaria de una herramienta de exposición?

• Al reemplazar una lámpara de mercurio, asegúrese de verificar y confirmar la polaridad correcta.
• Antes de encender la lámpara UV, confirme que el ventilador de extracción esté funcionando correctamente y verifique si el voltaje y la corriente en circuito abierto son normales y si las horas de funcionamiento acumuladas han superado la vida útil de la lámpara.
• Antes de operar el sistema, verifique si las condiciones de presión positiva y negativa son normales.
• Después de reemplazar el soporte de la máscara, asegúrese de que todos los tornillos estén bien apretados para evitar problemas de desplazamiento durante la exposición por contacto.

Secuencia de encendido y encendido de la lámpara

Antes de encender el sistema, asegúrese de que las funciones de N₂, aire seco comprimido (CDA) y vacío estén funcionando normalmente. Luego, encienda el equipo, active la unidad de suministro de energía, encienda la lámpara de mercurio y espere hasta que el sistema de lámpara se estabilice.

¿Qué precauciones se deben tomar cuando la lámpara UV está encendida?

Al encender la lámpara UV, siempre confirme que el ventilador de extracción esté funcionando correctamente.

¿Qué precauciones se deben tomar al reemplazar una lámpara de mercurio?

Al reemplazar una lámpara de mercurio, se deben usar guantes de látex de grado de sala limpia, y se debe evitar el contacto directo con la bombilla de la lámpara.

Solución de problemas de lámparas de mercurio y fuentes de luz

• ¿Cuáles son las posibles razones por las que una lámpara de mercurio no se enciende?

• Verifique si las horas de funcionamiento han superado la vida útil de la lámpara.
• Verifique si el tubo de la lámpara tiene grietas.
• Verifique si la disipación de calor está funcionando correctamente.

¿Cuánto tiempo se puede usar una lámpara de mercurio?

La vida útil de una lámpara de mercurio depende principalmente del número de ciclos de encendido y de las horas totales de funcionamiento.
Bajo condiciones de funcionamiento normales, la vida útil varía según la potencia de la lámpara (350W, 500W, 1000W, 2000W y 5000W).
Tenga en cuenta que los sistemas de exposición contienen múltiples componentes ópticos, la mayoría de los cuales están recubiertos con películas ópticas especializadas.Estos recubrimientos pueden degradarse con el tiempo debido a las condiciones de temperatura, humedad y pH.Se recomiendan inspecciones regulares de funcionalidad y apariencia, manteniendo registros.Si se identifican problemas, consulte directamente el soporte profesional M&R.

Solución de problemas y mantenimiento

Si el sistema se detiene repentinamente y no se puede reiniciar, ¿cuál debería ser el primer paso?

Primero, verifique los códigos de alarma y los registros de errores. Confirme si los suministros de servicios externos (energía, vacío, agua de enfriamiento y nitrógeno) son anormales, luego intente reiniciar el sistema.

Si el sistema encuentra una condición anormal y no se puede reiniciar, ¿cómo se debe manejar?

• Revise los mensajes de alarma e identifique el punto anormal según la información proporcionada.
• Apague el sistema durante 5–15 minutos, luego enciéndalo nuevamente para la inicialización.
• Contacte al fabricante del equipo original (OEM) para obtener soporte.

¿Cómo se deben verificar las anomalías en la comunicación del PLC?

Primero, confirme si las interfaces de comunicación (EtherCAT / Profibus / RS-485 / Ethernet) están funcionando correctamente. Verifique los cables y conectores en busca de desconexiones o mal contacto. Verifique si los indicadores de estado del PLC (LEDs RUN/ERR) están iluminados correctamente.

¿Cómo se debe manejar un interbloqueo que no se puede liberar?

Verifique los mensajes de alarma en el PLC o HMI. Inspeccione manualmente los sensores (interruptores de presión, señales de contacto) en busca de anormalidades y confirme que se cumplan las condiciones físicas del equipo (como que las puertas estén completamente cerradas).

¿Cómo se deben diagnosticar las anormalidades del motor (como sobrecorriente o sobrecalentamiento)?

Verifique los códigos de alarma del variador, mida si las corrientes del motor trifásico están equilibradas y verifique que el agua de enfriamiento o los ventiladores estén funcionando normalmente. Si las anormalidades persisten, se debe reemplazar el módulo de variador o el motor.

¿Qué se debe inspeccionar en el sistema de control eléctrico durante el mantenimiento periódico?

Limpieza del filtro del ventilador de enfriamiento e inspección de la tensión de la batería del PLC.

¿Qué servicios debe proporcionar la instalación para las herramientas de exposición?

Normalmente, se requiere un CDA estable de 4 a 6 kg, N₂ de 3 a 5 kg y suministro de energía eléctrica. Dependiendo de las especificaciones del equipo, se necesita energía de 220 V monofásica o trifásica de 220 V, con requisitos de corriente que varían de 15 a 50 A. Los requisitos pueden variar según el modelo del equipo.

• Otras anomalías mecánicas y métodos de solución de problemas

• Variación de la velocidad del cilindro: Verifique si la presión positiva es normal o si hay fugas de aire.
• Botones que no responden: Fallo del botón o desconexión del cableado.
• No hay luz durante la exposición: Verifique el sistema de energía, los interruptores de energía y el estado de la lámpara de mercurio.
  (Por favor, contacte a nuestros ingenieros para mantenimiento y acciones correctivas.)