操作與日常注意事項

曝光機平時使用有哪些應該要注意的？

• 汞燈更換時，務必注意極性。
• UV燈源點燈時，請先確認排風扇扇確實運作，並且檢查開路電壓及電流是否正常,使用時數是否超過汞燈使用壽命。
• 機台操作前檢查正壓負壓是否正常。
• Maskholder更換過後,請注意把螺絲鎖緊,以避免Contact時産生Shift問題。

開機點燈的順序

開機操作前確保N2、壓縮乾燥空氣和真空功能正常，而後可啟動設備電源，開啟電源供應器電源，點擊汞燈，等待汞燈系統穩定。

UV燈點亮時注意事項為何？

UV燈源點燈時，請先確認排風扇確實運作。

更換汞燈注意事項為何？

更換汞燈必須穿戴乾淨的無塵室專用乳膠手套，並且避免觸碰球體。

汞燈與光源異常排查

汞燈光源點不亮可能原因？

• 檢查時數是否已經超過使用壽命。
• 檢查燈管是否有裂痕。
• 檢查散熱是否良好。

汞燈可以用多久？

汞燈的使用年限，主要是點擊次數和使用時數有關係，
正常使用狀態：350W、500W、1000W、2000W & 5000W各不同
提醒您，曝光系統有數種光學元件，大部分元件皆有塗佈獨特的光學鍍膜，此光學鍍膜會因為時間、溫度、濕度及酸鹼PH值產生損耗，建議將固定檢查點檢其功能性及外觀有無異常，並加以記錄，有任何問題請直接請教專業的M&R諮詢。

故障排除與維修

機台突然停機且無法復歸，第一步該怎麼做？

先查看 Alarm code 與 Error log，確認外部供應條件（電源、真空、冷卻水、氮氣）是否異常，嘗試進行系統 Reset。

機台發生異常病且無法復歸,該如何解決？

• 查看異常訊息並依照訊息提示找到異常問題點
• 斷電5~15分鐘後送電初始化3.打電話通知原廠

若 PLC 通訊異常該如何排查？

先確認通訊介面（EtherCAT / Profibus / RS-485 / Ethernet）是否異常。測試線材與連接端口是否有掉落或接觸不亮。查看 PLC 指示燈 (RUN/ERR)訊號燈是否亮起。

如何處理 Interlock 無法解除？

查看 PLC 或 HMI 上的 Alarm 訊息。手動檢查感測器（壓力開關、接點訊號）是否異常，確認機台實體條件（如門有無確實關閉）。

馬達異常（如過流/過熱）如何排查？

確認驅動器 Alarm code，量測馬達三相電流是否平衡、檢查冷卻水/風扇是否正常、若持續異常，需更換驅動模組或馬達。

定期檢修時電控系統需檢查哪些地方？

風扇濾網清潔、PLC電池電壓檢查

曝光機台有哪些是廠務提供？

一般需要有穩定4-6KG的CDA以及3-5KG的N2和以及依照不同設備規格會要求單相220V或是三相220V的電壓供應電流則是15-50A。依設備不同而有所不同

其他機械異常及故障排除方式

• 汽缸運轉速度變化 : 檢查正壓是否正常或洩漏狀況。
• 按鍵無反應 : 按鍵失效或斷線。
• 曝光無光源：檢查電力系統、電源開關、汞燈狀態。

（請聯絡我們的工程師進行維護和糾正）