手動旋轉塗佈機
科毅手動旋轉塗佈機用於光阻與薄膜材料的塗佈試作與製程參數建立，晶圓以真空吸附固定於夾具上，透過馬達旋轉產生離心力，使光阻均勻展開於基板表面。設備本體採用...
半自動旋轉塗佈機
半自動旋轉塗佈機在微影製程中扮演著承上啟下的角色，它介於操作靈活的手動塗佈機和高度集成的全自動塗佈機之間。半自動機台的核心優勢在於提供了自動化與成本的平衡點。半自動旋轉塗佈機使用目的是將噴塗在晶圓上的光阻利用離心的旋轉方式，實現光阻均勻分布於晶圓上，並可依照選配功能，於設備上實現晶圓清洗、吹氣旋乾、洗邊、洗背之...功能，以上功能皆可選擇廠務供應或設備壓力桶供應。 半自動旋轉塗佈機通過提供流程化控制與優異的製程功能，在手動機台的靈活性和全自動機台的高集成度之間找到了最佳平衡點，是追求製程穩定性與合理投資成本客戶的理想選擇。
自動旋轉塗佈機
自動旋轉塗佈機在晶片塗膜製程中以高穩定度與高再現性著稱，特別適合量產線、嚴格品質控管的研發中心與需要精密薄膜厚度控制的應用。其最大效益是能以全自動流程完成滴料、加速、旋轉、乾燥等動作，確保每片晶圓在完全一致的條件下完成塗佈，大幅降低膜厚變異與人為誤差，使塗膜均勻性達到最佳化。 選用自動旋轉塗佈機的原因主要包括：需要高均勻度薄膜、提升產能、減少操作負擔、避免液量與轉速不穩造成的膜厚偏差、以及建立可量產的標準化塗佈製程。相較半自動或手動設備，它能完全解決膜厚不一致、實驗差異大、人工滴料不準等問題。應用場景涵蓋光阻塗佈、MEMS...