在研發實驗室與教學環境中，研究人員常利用科毅的手動旋轉塗佈機來進行光阻、奈米材料或薄膜的均勻塗佈。他們需要在短時間內完成多次參數測試，以找出最適合的製程條件。

科毅科技的機台設計著重於操作穩定性與轉速控制精度，能讓使用者在低成本條件下仍獲得高重現性的塗佈結果。對於初期開發或實驗教學，這種設備提供高度的可操作性與直觀介面，使學生與研究人員能清楚理解轉速、時間與塗膜厚度間的關係。對研發工程師而言，它能快速進行小樣試塗，減少使用昂貴自動設備的時間與成本負擔。科毅科技同時提供客製化夾具與穩定的售後支援，使設備能靈活應對不同晶圓尺寸與材料需求，成為教育訓練、材料研究與製程開發中可靠且經濟的選擇。

產品規格

• 破片、1吋~12吋CHUCK(含晶圓置中置具)。
• 旋轉馬達(10~6000RPM)。
• 排廢液系統。
• 排風系統。
• Interlock防護裝置。
• 兩段計時器控制。
• PLC可程式控制介面。
• 配方多段控制。

產品配備

• 一組單一尺寸使用CHUCK&置中治具。
• 光阻噴塗系統(壓力桶)。
• EMO緊急安全按鈕。
• 真空泵浦。

產品選配

• 桌上型or落地形。
• 多組不同尺寸使用CHUCK&置中置具。
• 排廢液系統。
• Interlock防護裝置。
• 可程式PLC控制，HMI操作介面。
• 配方多段控制(支援最多100組配方、單個配方30步驟)。
• 排風系統。
• 自動開蓋裝置。
• 鐵氟龍CHUCK。

應用產業

• 平面顯示器
• 印刷電路板(PCB)
• 半導體、IC構裝
• 鋰電池等電子、光電、儲能等需要塗佈光阻之產業