Recubridor rotativo manual
El espinador manual de M&R se utiliza para ensayos de recubrimiento de fotoresistencias y materiales de película delgada, así como para el establecimiento de parámetros de proceso. Las obleas están fijadas a un soporte con adhesivo al vacío, y la fuerza centrífuga generada por la rotación de un motor asegura que el fotoresistente se distribuya uniformemente sobre la superficie del sustrato. El cuerpo del equipo está hecho de materiales resistentes a productos químicos como PP, PTFE y aleación de aluminio, capaces de soportar el entorno de procesamiento húmedo de fotopolímeros y las etapas de pre-desarrollo, lo que lo hace adecuado para su uso en I+D a largo plazo. Este equipo es particularmente adecuado para las etapas iniciales de formulación y exploración de condiciones de proceso, permitiendo una rápida confirmación del comportamiento del recubrimiento y la uniformidad de la película antes de la automatización, reduciendo los costos de producción de prueba y estableciendo estándares de proceso posteriores.
Los métodos de control son seleccionables según los requisitos. El modelo básico ofrece control de velocidad y tiempo en dos etapas; la versión programable, equipada con un PLC y HMI, puede registrar múltiples formulaciones de proceso y establecer la velocidad, el tiempo y el flujo de aceleración/desaceleración para cada paso, facilitando la comparación de condiciones del proceso y la verificación de la reproducibilidad de las muestras. Para obleas de gran tamaño, se puede añadir un dispositivo de taponado automático para reducir la carga operativa. La extracción de líquidos residuales, la protección contra fugas, el paro de emergencia y los diseños anti-mala operación también se pueden agregar para mejorar la seguridad operativa. El equipo se utiliza comúnmente para el desarrollo de formulaciones de recubrimiento de fotoresistencias, la producción piloto inicial de NPI, el desarrollo de procesos de películas delgadas optoelectrónicas y MEMS, y la enseñanza de procesos de front-end en instituciones académicas y de investigación. Se puede emparejar con máquinas de exposición manual y máquinas de revelado de banco para formar una estación de trabajo completa del proceso de fotopolímero.
Ventajas de la máquina de recubrimiento rotativa manual de M&R
En laboratorios de I+D y entornos de enseñanza, los investigadores utilizan frecuentemente los recubridores manuales de M&R para un recubrimiento uniforme de fotoresistencias, nanomateriales o películas delgadas. Necesitan realizar múltiples pruebas de parámetros en un corto período de tiempo para determinar las condiciones óptimas del proceso.
El diseño de la máquina de M&R enfatiza la estabilidad operativa y la precisión en el control de giro, lo que permite a los usuarios lograr resultados de recubrimiento altamente reproducibles a bajo costo. Para el desarrollo inicial o la enseñanza experimental, este equipo ofrece una alta operatividad y una interfaz intuitiva, lo que permite a los estudiantes e investigadores comprender claramente la relación entre la velocidad de giro, el tiempo y el grosor del recubrimiento. Para los ingenieros de I+D, permite un recubrimiento rápido de muestras a pequeña escala, reduciendo el tiempo y el costo de utilizar equipos automatizados costosos. M&R también proporciona accesorios personalizados y un sólido soporte postventa, lo que permite que el equipo se adapte de manera flexible a diferentes tamaños de obleas y requisitos de material, convirtiéndolo en una opción confiable y económica para la educación, la investigación de materiales y el desarrollo de procesos.
Especificaciones
- Fragmentos, enfriadores de 1 pulgada a 12 pulgadas (incluidos los accesorios de centrado de obleas).
- Motores rotativos (10~6000 RPM).
- Sistema de drenaje de líquidos residuales.
- Sistema de ventilación.
- Dispositivo de protección de enclavamiento.
- Control de temporizador de dos etapas.
- Interfaz de control programable PLC.
- Control de recetas en múltiples etapas.
Configuración
- Un dispositivo de sujeción y centrado de tamaño único.
- Sistema de rociado de fotoresistencia (tanque de presión).
- Botón de emergencia EMO.
- Bomba de vacío.
Opciones
- Tipo de sobremesa o de pie.
- Múltiples tamaños de CHUCK y unidad de centrado.
- Sistema de drenaje de líquidos residuales.
- Dispositivo de protección de enclavamiento.
- Control PLC programable, interfaz HMI.
- Control de fórmula de múltiples etapas (soporta hasta 100 fórmulas, 30 pasos por fórmula).
- Sistema de ventilación.
- Dispositivo automático de apertura de tapas.
- CHUCK de teflón.
Aplicaciones
- Pantallas de panel plano
- Placas de circuito impreso (PCBs)
- Semiconductores y empaquetado de circuitos integrados
- Industrias que requieren recubrimiento de fotoresistencias, como baterías de litio, optoelectrónica y almacenamiento de energía.
Recubridor rotativo manualEquipo de Proceso de Semiconductores y Optoelectrónicos Personalizado Profesional
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