在研发实验室与教学环境中，研究人员常利用科毅的手动旋转涂布机来进行光阻、奈米材料或薄膜的均匀涂布。他们需要在短时间内完成多次参数测试，以找出最适合的制程条件。

科毅科技的机台设计着重于操作稳定性与转速控制精度，能让使用者在低成本条件下仍获得高重现性的涂布结果。对于初期开发或实验教学，这种设备提供高度的可操作性与直观接口，使学生与研究人员能清楚理解转速、时间与涂膜厚度间的关系。对研发工程师而言，它能快速进行小样试涂，减少使用昂贵自动设备的时间与成本负担。科毅科技同时提供客制化夹具与稳定的售后支持，使设备能灵活应对不同晶圆尺寸与材料需求，成为教育训练、材料研究与制程开发中可靠且经济的选择。

产品规格

• 破片、1吋~12吋CHUCK(含晶圆置中置具)。
• 旋转马达(10~6000RPM)。
• 排废液系统。
• 排风系统。
• Interlock防护装置。
• 两段定时器控制。
• PLC可程控界面。
• 配方多段控制。

产品配备

• 一组单一尺寸使用CHUCK&置中治具。
• 光阻喷涂系统(压力桶)。
• EMO紧急安全按钮。
• 真空泵浦。

产品选配

• 桌上型or落地形。
• 多组不同尺寸使用CHUCK&置中置具。
• 排废液系统。
• Interlock防护装置。
• 可程序PLC控制，HMI操作接口。
• 配方多段控制(支持最多100组配方、单个配方30步骤)。
• 排风系统。
• 自动开盖装置。
• 铁氟龙CHUCK。

应用产业

• 平面显示器
• 印刷电路板(PCB)
• 半导体、IC构装
• 锂电池等电子、光电、储能等需要涂布光阻之产业