光罩除尘机

MCS 风刀式除尘机是科毅科技专为高洁净要求与精密制程环境所研发的工业级干式除尘设备，广泛应用于半导体制造及光学组件处理等关键领域。该设备采用非接触式清洁技术，透过高压高速风刀产生稳定且均匀的气流，有效去除晶圆、光罩及Pellicle表面的奈米级微粒与污染物，同时避免传统接触式清洁可能造成的刮伤或损伤。由于全程不使用水、化学药液或溶剂，能大幅降低残留风险与二次污染，特别适用于高价值与高精密度组件。MCS 系统亦具备优异的洁净控制与稳定性能，有助于提升制程一致性与产品良率，是现代先进制程中不可或缺的重要清洁解决方案。