操作与日常注意事项

曝光机平时使用有哪些应该要注意的？

• 汞灯更换时，务必注意极性。
• UV灯源点灯时，请先确认排风扇扇确实运作，并且检查开路电压及电流是否正常,使用时数是否超过汞灯使用寿命。
• 机台操作前检查正压负压是否正常。
• Maskholder更换过后,请注意把螺丝锁紧,以避免Contact时产生Shift问题。

开机点灯的顺序

开机操作前确保N2、压缩干燥空气和真空功能正常，而后可启动设备电源，开启电源供应器电源，点击汞灯，等待汞灯系统稳定。

UV灯点亮时注意事项为何？

UV灯源点灯时，请先确认排风扇确实运作。

更换汞灯注意事项为何？

更换汞灯必须穿戴干净的无尘室专用乳胶手套，并且避免触碰球体。

汞灯与光源异常排查

汞灯光源点不亮可能原因？

• 检查时数是否已经超过使用寿命。
• 检查灯管是否有裂痕。
• 检查散热是否良好。

汞灯可以用多久？

汞灯的使用年限，主要是点击次数和使用时数有关系，
正常使用状态：350W、500W、1000W、2000W & 5000W各不同
提醒您，曝光系统有数种光学组件，大部分组件皆有涂布独特的光学镀膜，此光学镀膜会因为时间、温度、湿度及酸碱PH值产生损耗，建议将固定检查点检其功能性及外观有无异常，并加以记录，有任何问题请直接请教专业的M&R咨询。

故障排除与维修

机台突然停机且无法复归，第一步该怎么做？

先查看 Alarm code 与 Error log，确认外部供应条件（电源、真空、冷却水、氮气）是否异常，尝试进行系统 Reset。

机台发生异常病且无法复归,该如何解决？

• 查看异常讯息并依照讯息提示找到异常问题点
• 断电5~15分钟后送电初始化3.打电话通知原厂

若 PLC 通讯异常该如何排查？

先确认通讯接口（EtherCAT / Profibus / RS-485 / Ethernet）是否异常。测试线材与连接端口是否有掉落或接触不亮。查看 PLC 指示灯 (RUN/ERR)讯号灯是否亮起。

如何处理 Interlock 无法解除？

查看 PLC 或 HMI 上的 Alarm 讯息。手动检查传感器（压力开关、接点讯号）是否异常，确认机台实体条件（如门有无确实关闭）。

马达异常（如过流/过热）如何排查？

确认驱动器 Alarm code，量测马达三相电流是否平衡、检查冷却水/风扇是否正常、若持续异常，需更换驱动模块或马达。

定期检修时电控系统需检查哪些地方？

风扇滤网清洁、PLC电池电压检查

曝光机台有哪些是厂务提供？

一般需要有稳定4-6KG的CDA以及3-5KG的N2和以及依照不同设备规格会要求单相220V或是三相220V的电压供应电流则是15-50A。依设备不同而有所不同

其他机械异常及故障排除方式

• 汽缸运转速度变化：检查正压是否正常或泄漏状况。
• 按键无反应：按键失效或断线。
• 曝光无光源：检查电力系统、电源开关、汞灯状态。

（请联络我们的工程师进行维护和纠正）