手动旋转涂布机
科毅手动旋转涂布机用于光阻与薄膜材料的涂布试作与制程参数建立，晶圆以真空吸附固定于夹具上，透过马达旋转产生离心力，使光阻均匀展开于基板表面。设备本体采用...
半自动旋转涂布机
半自动旋转涂布机在微影制程中扮演着承上启下的角色，它介于操作灵活的手动涂布机和高度集成的全自动涂布机之间。半自动机台的核心优势在于提供了自动化与成本的平衡点。半自动旋转涂布机使用目的是将喷涂在晶圆上的光阻利用离心的旋转方式，实现光阻均匀分布于晶圆上，并可依照选配功能，于设备上实现晶圆清洗、吹气旋干、洗边、洗背之...功能，以上功能皆可选择厂务供应或设备压力桶供应。 半自动旋转涂布机通过提供流程化控制与优异的制程功能，在手动机台的灵活性和全自动机台的高集成度之间找到了最佳平衡点，是追求制程稳定性与合理投资成本客户的理想选择。
自动旋转涂布机
自动旋转涂布机在芯片涂膜制程中以高稳定度与高再现性著称，特别适合量产线、严格质量控管的研发中心与需要精密薄膜厚度控制的应用。其最大效益是能以全自动流程完成滴料、加速、旋转、干燥等动作，确保每片晶圆在完全一致的条件下完成涂布，大幅降低膜厚变异与人为误差，使涂膜均匀性达到优化。 选用自动旋转涂布机的原因主要包括：需要高均匀度薄膜、提升产能、减少操作负担、避免液量与转速不稳造成的膜厚偏差、以及建立可量产的标准化涂布制程。相较半自动或手动设备，它能完全解决膜厚不一致、实验差异大、人工滴料不准等问题。应用场景涵盖光阻涂布、MEMS...