科毅科技的半自动旋转涂布机的核心功能在于实现光阻剂在晶圆或基板上的均匀分布，并具备洗涤、清洗、烘干、吹干等多样化功能。它透过精密的机械结构与控制系统，确保了制程的高度均匀性与稳定性。

科毅半自动旋转涂布机的结构坚固且具备耐用性，使用耐酸碱抗腐蚀材料制造(PP、SUS、PTFE、铝合金…等结构。它可适用于1 英吋至 12 英吋的晶圆或基板。

产品规格

• 破片、1吋~12吋CHUCK(含晶圆置中置具)。
• 旋转马达(10~8000RPM)。
• 供药(光阻、洗边剂)回吸阀+喷嘴喷涂系统。
• 清洗(DIW、N2)回吸阀+喷嘴喷洒系统。
• 排废液系统。
• 排风系统。
• Interlock防护装置。
• PLC可程控界面。
• 配方多段控制。

产品配备

• 一组单一尺寸使用CHUCK&置中治具。
• 光阻喷涂系统(压力桶)。
• 排废液系统。
• Interlock防护装置。
• HMI控制接口
• 配方多段控制(支持最多100组配方、单个配方30步骤)。
• 压力桶液位检知功能。
• EMO紧急安全按钮。
• 真空泵浦。
• 药液回吸阀控制(防止滴液)

产品选配

• 桌上型or落地形。
• 多组不同尺寸使用CHUCK&置中置具。
• 清洗剂供药喷涂系统。
• DIW、N2喷洒系统。
• 洗边、洗背喷洒系统。
• 压力桶供应or衔接厂务供应药液、DIW系统。
• 排风系统。
• 自动开盖装置。
• 铁氟龙CHUCK。

应用产业

• 平面显示器
• 印刷电路板(PCB)
• 半导体、IC构装、锂电池等电子、光电、储能等需要涂布光阻之产业