सेमी-ऑटोमैटिक स्पिन कोटर | M&R नैनो प्रौद्योगिकी सेमीकंडक्टर & ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक प्रक्रिया उपकरण
एक सेमी-ऑटोमैटिक स्पिन कोटर लिथोग्राफी प्रक्रियाओं में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है, जो मैनुअल स्पिन कोटर की संचालन लचीलापन और पूरी तरह से ऑटोमैटिक कोटिंग सिस्टम की उच्च एकीकरण के बीच का अंतर भरता है। इसका मुख्य लाभ स्वचालन स्तर, प्रक्रिया स्थिरता और निवेश लागत के बीच संतुलन बनाने में है। एक सेमी-ऑटोमैटिक स्पिन कोटर सेंट्रिफ्यूगल रोटेशन का उपयोग करके फोटोरेसिस्ट को वेफर सतहों पर समान रूप से वितरित करता है। कॉन्फ़िगरेशन के आधार पर, सिस्टम वेफर की सफाई, एयर-ब्लो सुखाने, एज बीड हटाने और बैकसाइड रिंसिंग कर सकता है, जो या तो निर्माता द्वारा या एक बाहरी दबाव टैंक द्वारा प्रदान किया जाता है।
सुगम नियंत्रण और उन्नत प्रक्रिया कार्यों को प्रदान करके, अर्ध-स्वचालित स्पिन कोटर मैनुअल लचीलापन और पूर्ण स्वचालन के बीच एक आदर्श संतुलन प्रदान करता है, जो उन ग्राहकों के लिए एक आदर्श समाधान बनाता है जो उचित निवेश लागत के साथ स्थिर प्रक्रियाएँ चाहते हैं।उच्च गुणवत्ता वाले सेमीकंडक्टर और ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक प्रक्रिया उपकरण और विश्वसनीय कस्टम निर्माताओं के लिए M&R नैनो प्रौद्योगिकी चुनें।
सेमी-ऑटोमैटिक स्पिन कोटर
एक सेमी-ऑटोमैटिक स्पिन कोटर लिथोग्राफी प्रक्रियाओं में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है, जो मैनुअल स्पिन कोटर की संचालन लचीलापन और पूरी तरह से ऑटोमैटिक कोटिंग सिस्टम की उच्च एकीकरण के बीच का अंतर भरता है। इसका मुख्य लाभ स्वचालन स्तर, प्रक्रिया स्थिरता और निवेश लागत के बीच संतुलन बनाने में है। एक सेमी-ऑटोमैटिक स्पिन कोटर सेंट्रिफ्यूगल रोटेशन का उपयोग करके फोटोरेसिस्ट को वेफर सतहों पर समान रूप से वितरित करता है। कॉन्फ़िगरेशन के आधार पर, सिस्टम वेफर की सफाई, एयर-ब्लो सुखाने, एज बीड हटाने और बैकसाइड रिंसिंग कर सकता है, जो या तो निर्माता द्वारा या एक बाहरी दबाव टैंक द्वारा प्रदान किया जाता है।
सुगम नियंत्रण और उन्नत प्रक्रिया कार्यों को प्रदान करके, अर्ध-स्वचालित स्पिन कोटर मैनुअल लचीलापन और पूर्ण स्वचालन के बीच एक आदर्श संतुलन प्रदान करता है, जो उन ग्राहकों के लिए एक आदर्श समाधान बनाता है जो उचित निवेश लागत के साथ स्थिर प्रक्रियाएँ चाहते हैं।
M&R के सेमी-ऑटोमैटिक स्पिन कोटिंग मशीन के लाभ
M&R के सेमी-ऑटोमैटिक स्पिन कोटर का मुख्य कार्य वाफर्स या सब्सट्रेट्स पर फोटोरेसिस्ट का समान वितरण प्राप्त करना है, और इसमें धोने, साफ करने, सुखाने और ब्लो-ड्राई करने जैसी विविध कार्यक्षमताएँ भी हैं। एक जटिल यांत्रिक संरचना और नियंत्रण प्रणाली के माध्यम से, यह प्रक्रिया की समानता और स्थिरता का उच्च स्तर सुनिश्चित करता है।
M&R के सेमी-ऑटोमैटिक स्पिन कोटर में एक मजबूत और टिकाऊ निर्माण है, जो एसिड और क्षारीय प्रतिरोधी और जंग-प्रतिरोधी सामग्रियों (PP, SUS, PTFE, एल्यूमीनियम मिश्र धातु, आदि) का उपयोग करता है। यह 1-इंच से 12-इंच के वेफर्स या सब्सट्रेट के लिए उपयुक्त है।
प्रक्रिया विशिष्टताओं के संबंध में, M&R का सेमी-ऑटोमैटिक स्पिन कोटर निम्नलिखित मुख्य कार्यों और प्रणालियों की विशेषताएँ रखता है:
- स्पिन नियंत्रण: स्पिन मोटर से सुसज्जित, 10-8000 RPM की गति प्राप्त करता है।
- प्रक्रिया तरल हैंडलिंग: इसमें एक अंतर्निहित निकास प्रणाली, निकास पंखा, और एक व्यापक सफाई प्रणाली शामिल है, जिसमें सॉल्वेंट/डीआईडब्ल्यू पुनर्प्राप्ति और स्प्रे सफाई प्रणाली शामिल हैं, और यह प्रक्रिया की स्वच्छता सुनिश्चित करने के लिए एक सफाई (डीआईडब्ल्यू, एन2) बैक-सक्शन वाल्व + नोजल स्प्रेइंग प्रणाली से सुसज्जित है।
- सुरक्षा और नियंत्रण: इसमें एक इंटरलॉक सुरक्षा उपकरण और एक ईएमओ आपातकालीन सुरक्षा बटन है। नियंत्रण प्रणाली एक पीएलसी नियंत्रण आर्किटेक्चर का उपयोग करती है, जो 100 प्रक्रिया व्यंजनों को स्टोर करने में सक्षम है, प्रत्येक में 30 चरण तक।
हालांकि इसे अर्ध-स्वचालित रूप से डिज़ाइन किया गया है, उपकरण की कार्यक्षमता अत्यधिक अनुकूलित है। ऑपरेटर एचएमआई के माध्यम से सिस्टम तक पहुँच सकते हैं। मानव-मशीन इंटरफ़ेस पैनल प्रक्रिया का मैनुअल या सूत्र-आधारित चयन करने की अनुमति देता है, जो घूर्णन गति, समय, और त्वरण/विलंबन को नियंत्रित करता है।
यह उपकरण विभिन्न आकार के चूजों, विभिन्न सफाई एजेंट/DIW स्प्रेइंग सिस्टम, दबाव सेंसर आदि सहित कई वैकल्पिक सहायक उपकरण भी प्रदान करता है।
M&R की सेमी-ऑटोमैटिक स्पिन कोटिंग मशीन, जिसकी उच्च सटीकता, उच्च स्थिरता और सुव्यवस्थित प्रक्रिया है, छोटे से मध्यम आकार या R&D उत्पादन लाइनों की आवश्यकताओं को पूरा करती है जो सटीक फोटोरेसिस्ट कोटिंग की आवश्यकता होती है।
विशेषताएँ
- फ्रैगमेंट, 1-इंच से 12-इंच चिलर (वाफर केंद्रित करने वाले फिक्स्चर सहित)।
- घूर्णन मोटर्स (10-8000 RPM)।
- रासायनिक आपूर्ति (फोटोरेसिस्ट, एज क्लीनर) बैक सक्शन वाल्व + नोजल स्प्रेइंग सिस्टम।
- सफाई (DIW, N2) बैक सक्शन वाल्व + नोजल स्प्रेइंग सिस्टम।
- वेस्ट लिक्विड ड्रेनेज सिस्टम।
- वेंटिलेशन सिस्टम।
- इंटरलॉक सुरक्षा उपकरण।
- PLC प्रोग्रामेबल नियंत्रण इंटरफेस।
- मल्टी-स्टेज फॉर्मूलेशन नियंत्रण।
कॉन्फ़िगरेशन
- एकल आकार का चक और केंद्रित fixture।
- फोटोरेसिस्ट स्प्रेइंग सिस्टम (प्रेशर टैंक)।
- वेस्ट लिक्विड ड्रेनेज सिस्टम।
- इंटरलॉक सुरक्षा उपकरण।
- HMI नियंत्रण इंटरफेस।
- मल्टी-स्टेज फॉर्मूला नियंत्रण (100 फॉर्मूलों तक का समर्थन करता है, प्रत्येक फॉर्मूला के लिए 30 चरण)।
- प्रेशर टैंक स्तर पहचान कार्य।
- EMO आपातकालीन सुरक्षा बटन।
- वैक्यूम पंप।
- रासायनिक बैकफ्लो वाल्व नियंत्रण (टपकने से रोकता है)।
विकल्प
- टेबलटॉप या फ्लोर-स्टैंडिंग प्रकार।
- विभिन्न आकारों के चक और केंद्रित करने वाले फिक्स्चर के कई सेट।
- साफ़ करने की आपूर्ति और छिड़काव प्रणाली।
- DIW और N2 छिड़काव प्रणाली।
- एज वॉशिंग और बैक वॉशिंग स्प्रेइंग सिस्टम।
- प्रेशर टैंक की आपूर्ति या रासायनिक और DIW सिस्टम की संयंत्र आपूर्ति से कनेक्शन।
- निकासी प्रणाली।
- स्वचालित ढक्कन खोलने का उपकरण।
- टेफ्लॉन चक।
अनुप्रयोग
- फ्लैट पैनल डिस्प्ले
- प्रिंटेड सर्किट बोर्ड (पीसीबी)
- फोटोरेसिस्ट कोटिंग की आवश्यकता वाले उद्योग, जैसे सेमीकंडक्टर्स, आईसी पैकेजिंग, लिथियम बैटरी, और अन्य इलेक्ट्रॉनिक, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक, और ऊर्जा भंडारण प्रौद्योगिकियाँ।
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सेमी-ऑटोमैटिक स्पिन कोटरपेशेवर कस्टम सेमीकंडक्टर और ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक प्रक्रिया उपकरण
M&R नैनो प्रौद्योगिकी उच्च गुणवत्ता वाले सेमी-ऑटोमैटिक स्पिन कोटर और अर्धचालक एवं ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक प्रक्रिया उपकरण प्रदान करती है, जो उन्नत अर्धचालक, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक, और परीक्षण अनुप्रयोगों के लिए डिज़ाइन किए गए हैं।हमारी उत्पाद श्रृंखला में विस्तृत मास्क संरेखक, स्पिन कोटर्स और डेवलपर्स शामिल हैं, जो हमारे ताइवान के ताओयुआन संयंत्र में मजबूत स्वचालन क्षमताओं के साथ निर्मित हैं।
हम अपने इन-हाउस अनुसंधान एवं विकास और लघुकरण प्रौद्योगिकी के माध्यम से स्थिर गुणवत्ता और सटीक अनुकूलन प्रदान करने पर ध्यान केंद्रित करते हैं। यह सुनिश्चित करता है कि प्रत्येक प्रणाली सख्त प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा करती है जबकि व्यावहारिक स्थायित्व, कम लागत और अंतिम उपयोगकर्ताओं के लिए उच्च दक्षता बनाए रखती है।
वैश्विक खरीदारों के लिए, M&R नैनो प्रौद्योगिकी विश्वसनीय निर्माण समर्थन प्रदान करता है जो स्रोत प्रक्रिया को सरल बनाता है। हम ग्राहकों को उनके सेमीकंडक्टर और ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक प्रक्रिया उपकरणों को उत्पादन में लाने में मदद करने के लिए प्रतिक्रियाशील संचार, कुशल स्वचालन एकीकरण और लगातार बिक्री के बाद रखरखाव प्रदान करते हैं।