MCS 光罩除尘机搭载创新的 微粒气流导引技术，可针对微米至亚微米级的颗粒污染进行定向、高效、低风切震动的清除，避免传统清洁方式可能造成的二次污染或清洁死角，大幅提升光罩表面的可用性与稳定性。同时整合 智能扫描感测 AI 模块，能自动判别污染位置与种类，让清洁流程精准、可重复、具一致性，满足先进制程对高度可靠性的需求。
在运动控制方面，MCS 系统采用 高精度伺服平台与动态补偿算法，使整体清洁动作更流畅、更快速，并确保在高速运作下仍维持极低震动与最佳清洁效率。此技术优势使 MCS 不仅是单纯的设备升级，更是协助产线提升良率与稼动的策略性工具。
科毅科技指出，导入 MCS 光罩除尘机后，客户可明显感受到 光罩报废率下降、制程稳定度提升、污染造成的停线与重工次数降低 等关键效益。对于追求高良率与高产能的先进制程产线而言，MCS 所带来的不只是成本降低，更是一套完整、智慧化的洁净管理方案。