光源、照度与量测

一台曝光机光源功率为 200 W，照射面积是 100 cm²，请问照度是多少？

计算方式是功率除以面积，200 ÷ 100 = 2 W/cm²。

曝光机曝光时如何判断曝光能量到达？

有两种模式：
• 利用预先输入的照度来计算需要多少时间能到达所需要能量
• 利用感测计实时检测累计能量

照度衰退的检查项目有哪些？

• 紫外线灯泡(汞灯)衰减，紫外线灯泡(汞灯)异常衰减检查内容:
• 检查紫外线灯泡(汞灯)功率、电压和电流,是否正确(标准值可参考汞灯灯盒)。
• 紫外线灯泡(汞灯)的位置是否正确，X、Y、Z轴需调至最佳位置。
• 反光碗是否有氧化。
• Fly eye是否有雾化。
• 更换紫外线灯泡(汞灯)，确认是否有瑕疵。
• 确认照度计是否有问题。

汞灯可以用多久？

汞灯的使用年限，主要是点击次数和使用时数有关系，
正常使用状态：350W、500W、1000W、2000W & 5000W各不同
提醒您，曝光系统有数种光学组件，大部分组件皆有涂布独特的光学镀膜，此光学镀膜会因为时间、温度、湿度及酸碱PH值产生损耗，建议将固定检查点检其功能性及外观有无异常，并加以记录，有任何问题请直接请教专业的M&R咨询

2KW汞汞灯寿命为何？

2KW汞灯寿命是1000小时。

汞灯关闭后再次点击需等几分钟？

汞灯关闭后再次点击需等30分钟

设备结构与关键模块

Flag的功用是甚么？

Flag为一可伸缩或旋转部件，前方固定陶瓷球，当基板与光罩整平时，陶瓷球充当两者之间接触介质，来避免光阻污染光罩

什么是 Mask Holder？

Mask Holder是固定光罩的平台，光罩放置于该平台定位后利用真空吸附光罩。

如何更换光罩？

设备分为上置式、下置式固定光罩，上置式为将光罩直接真空吸附于光罩固定板(Mask Holder)上方，所以交换光罩可以直接解除真空重新放置它片光罩后真空吸附。下置式需先将Mask Holder抽出后翻面，解真空后更换光罩吸附后Mask Holder放回。另本公司有下置式光罩更换治具，可辅助下置光罩固定简易的更换光罩，不需取出Mask Holder即可轻松更换光罩

曝光设备(Exposure)需考虑那些作业参数？

芯片平整性、光罩与芯片对位精度

控制系统与自动化

曝光机的控制系统多使用哪种架构？

通常为 工控机 (IPC) + PLC + 运动控制卡 组合；IPC 负责算法与人机接口，PLC 负责安全逻辑，运动控制卡处理高速 stage 动作

自动化系统设备是使用什么架构？

工控计算机与设备和主控端沟通用的通讯协议(SECS/GEM)

自动化系统使用哪些通讯协议（SECS/GEM）？

工控计算机与设备和主控端沟通用的通讯协议(SECS/GEM)