คำถามทั่วไปเกี่ยวกับวิศวกรรมและการวิจัยและพัฒนา
ส่วนนี้มุ่งเน้นไปที่การออกแบบวิศวกรรมและการรวมระบบของอุปกรณ์การเปิดเผย โดยครอบคลุมหัวข้อทางเทคนิค เช่น การจัดการแหล่งกำเนิดแสง การวัดความสว่าง โครงสร้างอุปกรณ์ และสถาปัตยกรรมการควบคุม โดยการวิเคราะห์โมดูลอุปกรณ์หลักและการพิจารณาการออกแบบจากมุมมองทางวิศวกรรมและการวิจัยและพัฒนา จะช่วยให้ผู้ใช้สามารถตัดสินใจทางเทคนิคที่เหมาะสมมากขึ้นในระหว่างการพัฒนากระบวนการและการเพิ่มประสิทธิภาพอุปกรณ์.
แหล่งกำเนิดแสง, การส่องสว่าง, และการวัด
เครื่องมือการเปิดรับแสงมีพลังงานแหล่งกำเนิดแสง 200 W และพื้นที่เปิดรับแสง 100 cm² ความเข้มของการส่องสว่างเป็นเท่าไหร่?
วิธีการคำนวณคือพลังงานหารด้วยพื้นที่:
200 ÷ 100 = 2 W/cm².
จะยืนยันการส่งพลังงานการเปิดเผยได้อย่างไรในระหว่างการเปิดเผย?
- มีสองวิธี:
- คำนวณเวลาการเปิดเผยที่ต้องการตามค่าความสว่างที่ตั้งไว้เพื่อให้ถึงพลังงานที่ต้องการ
- ใช้เซ็นเซอร์เพื่อตรวจสอบและสะสมพลังงานการเปิดเผยแบบเรียลไทม์
ควรตรวจสอบรายการใดบ้างเมื่อความเข้มของแสงลดลง?
- รายการตรวจสอบการเสื่อมสภาพของหลอด UV (หลอดปรอท):
- ตรวจสอบว่าหลอด UV (หลอดปรอท) มีพลังงาน, แรงดันไฟฟ้า และกระแสไฟฟ้าถูกต้องหรือไม่ (ค่ามาตรฐานสามารถอ้างอิงจากตัวเรือนหลอดได้).
- ตรวจสอบว่าตำแหน่งของหลอด UV (หลอดปรอท) ถูกต้องหรือไม่; แกน X, Y และ Z ควรปรับให้อยู่ในตำแหน่งที่เหมาะสมที่สุด.
- ตรวจสอบว่าผลึกสะท้อนมีการออกซิเดชันหรือไม่.
- ตรวจสอบว่าหลอดเลนส์แบบฟลายอายมีหมอกหรือไม่.
- เปลี่ยนหลอด UV (หลอดปรอท) เพื่อตรวจสอบว่ามีข้อบกพร่องหรือไม่.
- ตรวจสอบว่ามิเตอร์แสงทำงานได้อย่างถูกต้องหรือไม่.
หลอดปรอทสามารถใช้งานได้นานแค่ไหน?
อายุการใช้งานของหลอดปรอทขึ้นอยู่กับจำนวนรอบการจุดติดและชั่วโมงการทำงานรวม.
ภายใต้สภาวะการทำงานปกติ อายุการใช้งานจะแตกต่างกันไปตามกำลังไฟ: 350W, 500W, 1000W, 2000W, และ 5000W.
โปรดทราบว่าระบบการเปิดเผยรวมถึงส่วนประกอบทางแสงหลายชิ้น ซึ่งส่วนใหญ่เคลือบด้วยฟิล์มทางแสงเฉพาะ.การเคลือบเหล่านี้อาจเสื่อมสภาพเมื่อเวลาผ่านไปเนื่องจากอุณหภูมิ ความชื้น และสภาพ pH.แนะนำให้มีการตรวจสอบฟังก์ชันและลักษณะเป็นประจำ โดยมีการบันทึกที่เหมาะสมหากมีปัญหาใด ๆ เกิดขึ้น โปรดปรึกษาผู้เชี่ยวชาญ M&R โดยตรง.
อายุการใช้งานของหลอดปรอท 2 kW คือเท่าไหร่?
อายุการใช้งานของหลอดปรอท 2 kW ประมาณ 1,000 ชั่วโมง.
ควรรอเป็นเวลานานแค่ไหนก่อนที่จะจุดหลอดปรอทอีกครั้งหลังจากปิด?
หลังจากปิดหลอดปรอท จะต้องรอเป็นเวลา 30 นาที ก่อนที่จะจุดใหม่.
โครงสร้างอุปกรณ์และโมดูลหลัก
ฟังก์ชันของธงคืออะไร?
ธงเป็นส่วนประกอบที่สามารถดึงกลับหรือหมุนได้ โดยมีลูกเซรามิกติดตั้งอยู่ที่ด้านหน้า ในระหว่างการปรับระดับซับสเตรตและหน้ากาก ลูกเซรามิกทำหน้าที่เป็นสื่อสัมผัสระหว่างซับสเตรตและหน้ากาก เพื่อป้องกันการปนเปื้อนของฟิล์มโฟโตเรซิสต์ที่หน้ากาก
ที่ยึดหน้ากากคืออะไร?
ที่ยึดหน้ากากเป็นแพลตฟอร์มที่ใช้ในการยึดฟิล์มโฟโตมาสก์ หลังจากการจัดตำแหน่ง หน้ากากจะถูกยึดไว้ด้วยการดูดสูญญากาศ
การเปลี่ยนฟิล์มโฟโตมาสก์ทำได้อย่างไร?
เครื่องมือการถ่ายภาพสามารถแบ่งออกเป็นการติดตั้งหน้ากากด้านบนและด้านล่าง
สำหรับระบบที่ติดตั้งด้านบน หน้ากากจะถูกติดตั้งด้วยการดูดสูญญากาศโดยตรงบนที่ถือหน้ากาก.การเปลี่ยนหน้ากากจะทำได้โดยการปล่อยสูญญากาศ, วางหน้ากากใหม่, และนำสูญญากาศกลับมาใช้ใหม่.
สำหรับระบบที่ติดตั้งด้านล่าง, ต้องดึงที่จับหน้ากากออกและพลิกกลับ, ปล่อยสูญญากาศ, เปลี่ยนหน้ากาก, และจากนั้นติดตั้งที่จับหน้ากากกลับเข้าไปใหม่.
นอกจากนี้ บริษัทของเรายังมีอุปกรณ์เฉพาะสำหรับการเปลี่ยนหน้ากากสำหรับระบบที่ติดตั้งด้านล่าง, ทำให้การเปลี่ยนหน้ากากทำได้ง่ายโดยไม่ต้องถอดที่จับหน้ากากออก.
ควรพิจารณาพารามิเตอร์การทำงานใดบ้างสำหรับอุปกรณ์การเปิดเผย?
ความเรียบของชิปและความแม่นยำในการจัดตำแหน่งระหว่างหน้ากากและชิป.
ระบบควบคุมและการทำงานอัตโนมัติ
สถาปัตยกรรมระบบควบคุมประเภทใดที่มักใช้ในเครื่องมือการเปิดเผย?
โดยทั่วไปจะใช้การรวมกันของ Industrial PC (IPC), PLC และการ์ดควบคุมการเคลื่อนไหว.
IPC จะจัดการอัลกอริธึมและส่วนติดต่อระหว่างมนุษย์กับเครื่อง (HMI), PLC จะจัดการตรรกะความปลอดภัย และการ์ดควบคุมการเคลื่อนไหวจะควบคุมการเคลื่อนไหวของเวทีความเร็วสูง.
สถาปัตยกรรมใดที่ใช้สำหรับระบบอุปกรณ์อัตโนมัติ?
คอมพิวเตอร์อุตสาหกรรมสื่อสารกับอุปกรณ์และระบบโฮสต์โดยใช้โปรโตคอลการสื่อสารเช่น SECS/GEM.
โปรโตคอลการสื่อสารใดที่ใช้ในระบบอัตโนมัติ (SECS/GEM)?
คอมพิวเตอร์อุตสาหกรรมใช้โปรโตคอล SECS/GEM เพื่อสื่อสารกับอุปกรณ์และระบบควบคุมโฮสต์.