Questions courantes en ingénierie et R&D
Cette section se concentre sur la conception technique et l'intégration des systèmes d'équipements d'exposition, couvrant des sujets techniques tels que la gestion des sources lumineuses, la mesure de l'illumination, la structure des équipements et l'architecture de contrôle. En analysant les modules clés des équipements et les considérations de conception d'un point de vue technique et R&D, elle aide les utilisateurs à prendre des décisions techniques plus appropriées lors du développement des processus et de l'optimisation des équipements.
Source de lumière, illumination et mesure
Un outil d'exposition a une puissance de source lumineuse de 200 W et une surface d'exposition de 100 cm². Quelle est l'intensité d'illumination ?
La méthode de calcul est la puissance divisée par la surface :
200 ÷ 100 = 2 W/cm².
Comment la livraison d'énergie d'exposition peut-elle être confirmée pendant l'exposition ?
- Il existe deux méthodes :
- Calculer le temps d'exposition requis en fonction d'une valeur d'illumination prédéfinie pour atteindre l'énergie cible.
- Utiliser un capteur pour surveiller et accumuler l'énergie d'exposition en temps réel.
Quels éléments doivent être vérifiés lorsque l'intensité d'illumination se dégrade ?
- Éléments d'inspection pour le vieillissement ou la dégradation anormale de la lampe UV (lampe à mercure) :
- Vérifiez si la puissance, la tension et le courant de la lampe UV (lampe à mercure) sont corrects (les valeurs standard peuvent être référencées à partir du boîtier de la lampe).
- Vérifiez si la position de la lampe UV (lampe à mercure) est correcte ; les axes X, Y et Z doivent être ajustés à la position optimale.
- Vérifiez si le réflecteur présente de l'oxydation.
- Vérifiez si la lentille à œil de mouche présente de la brume ou de la condensation.
- Remplacez la lampe UV (lampe au mercure) pour confirmer s'il y a des défauts.
- Vérifiez si le compteur d'illumination fonctionne correctement.
Combien de temps une lampe à mercure peut-elle être utilisée ?
La durée de vie d'une lampe à mercure dépend principalement du nombre de cycles d'allumage et du nombre total d'heures de fonctionnement.
Dans des conditions de fonctionnement normales, la durée de vie varie selon la puissance : 350W, 500W, 1000W, 2000W et 5000W.
Veuillez noter que les systèmes d'exposition comprennent plusieurs composants optiques, dont la plupart sont recouverts de films optiques spécialisés.Ces revêtements peuvent se dégrader avec le temps en raison des conditions de température, d'humidité et de pH.Des inspections régulières de la fonctionnalité et de l'apparence sont recommandées, avec des dossiers appropriés maintenus.Si des problèmes surviennent, veuillez consulter directement les professionnels de M&R.
Quelle est la durée de vie d'une lampe au mercure de 2 kW ?
La durée de vie d'une lampe au mercure de 2 kW est d'environ 1 000 heures.
Combien de temps faut-il attendre avant de rallumer une lampe au mercure après l'avoir éteinte ?
Après avoir éteint la lampe au mercure, un temps d'attente de 30 minutes est nécessaire avant de la rallumer.
Structure de l'équipement et modules clés
Quelle est la fonction du drapeau ?
Le drapeau est un composant rétractable ou rotatif avec une boule en céramique montée à l'avant. Lors du nivellement du substrat et du masque, la boule en céramique sert de moyen de contact entre le substrat et le masque, empêchant la contamination du masque par le photoresist.
Qu'est-ce qu'un support de masque ?
Un support de masque est une plateforme utilisée pour sécuriser le photomasque. Après positionnement, le masque est maintenu en place par aspiration sous vide.
Comment un photomasque est-il remplacé ?
Les outils d'exposition peuvent être classés en configurations de masque monté en haut et monté en bas.
Pour les systèmes montés en haut, le masque est directement monté sous vide sur le support de masque.Le remplacement du masque est effectué en relâchant le vide, en plaçant un nouveau masque et en réappliquant le vide.
Pour les systèmes montés en bas, le support de masque doit être tiré et retourné, le vide relâché, le masque remplacé, puis le support de masque réinstallé.
De plus, notre entreprise fournit un dispositif de remplacement de masque dédié pour les systèmes montés en bas, permettant un remplacement facile du masque sans retirer le support de masque.
Quels paramètres opérationnels doivent être pris en compte pour les équipements d'exposition ?
Planéité de la puce et précision d'alignement entre le masque et la puce.
Systèmes de contrôle et automatisation
Quel type d'architecture de système de contrôle est couramment utilisé dans les outils d'exposition ?
Typiquement, une combinaison d'un PC industriel (IPC), d'un PLC et d'une carte de contrôle de mouvement est utilisée.
L'IPC gère les algorithmes et l'interface homme-machine (IHM), le PLC gère la logique de sécurité, et la carte de contrôle de mouvement contrôle les mouvements à grande vitesse.
Quelle architecture est utilisée pour les systèmes d'équipement automatisés ?
Les PC industriels communiquent avec les équipements et les systèmes hôtes en utilisant des protocoles de communication tels que SECS/GEM.
Quels protocoles de communication sont utilisés dans les systèmes d'automatisation (SECS/GEM) ?
Les PC industriels utilisent les protocoles SECS/GEM pour communiquer avec les équipements et le système de contrôle hôte.