光源、照度與量測

一台曝光機光源功率為 200 W，照射面積是 100 cm²，請問照度是多少？

計算方式是功率除以面積，200 ÷ 100 = 2 W/cm²。

曝光機曝光時如何判斷曝光能量到達？

有兩種模式：
• 利用預先輸入的照度來計算需要多少時間能到達所需要能量
• 利用感測計實時檢測累計能量

照度衰退的檢查項目有哪些？

• 紫外線燈泡(汞燈)衰減，紫外線燈泡(汞燈)異常衰減檢查內容:
• 檢查紫外線燈泡(汞燈)功率、電壓和電流,是否正確(標準值可參考汞燈燈盒)。
• 紫外線燈泡(汞燈)的位置是否正確，X、Y、Z軸需調至最佳位置。
• 反光碗是否有氧化。
• Fly eye是否有霧化。
• 更換紫外線燈泡(汞燈)，確認是否有瑕疵。
• 確認照度計是否有問題。

汞燈可以用多久？

汞燈的使用年限，主要是點擊次數和使用時數有關係，
正常使用狀態：350W、500W、1000W、2000W & 5000W各不同
提醒您，曝光系統有數種光學元件，大部分元件皆有塗佈獨特的光學鍍膜，此光學鍍膜會因為時間、溫度、濕度及酸鹼PH值產生損耗，建議將固定檢查點檢其功能性及外觀有無異常，並加以記錄，有任何問題請直接請教專業的M&R諮詢。

2KW汞燈壽命為何？

2KW汞燈壽命是1000小時。

汞燈關閉後再次點擊需等幾分鐘？

汞燈關閉後再次點擊需等30分鐘

設備結構與關鍵模組

Flag的功用是甚麼？

Flag為一可伸縮或旋轉部件，前方固定陶瓷球，當基板與光罩整平時，陶瓷球充當兩者之間接觸介質，來避免光阻汙染光罩。

什麼是 Mask Holder？

Mask Holder是固定光罩的平台，光罩放置於該平台定位後利用真空吸附光罩。

如何更換光罩？

設備分為上置式、下置式固定光罩，上置式為將光罩直接真空吸附於光罩固定板(Mask Holder)上方，所以交換光罩可以直接解除真空重新放置它片光罩後真空吸附。下置式需先將Mask Holder抽出後翻面，解真空後更換光罩吸附後Mask Holder放回。另本公司有下置式光罩更換治具，可輔助下置光罩固定簡易的更換光罩，不需取出Mask Holder即可輕鬆更換光罩。

曝光設備(Exposure)需考慮那些作業參數？

晶片平整性、光罩與晶片對位精度

控制系統與自動化

曝光機的控制系統多使用哪種架構？

通常為 工控機 (IPC) + PLC + 運動控制卡 組合；IPC 負責演算法與人機介面，PLC 負責安全邏輯，運動控制卡處理高速 stage 動作。

自動化系統設備是使用什麼架構？

工控電腦與設備和主控端溝通用的通訊協定(SECS/GEM)

自動化系統使用哪些通訊協定（SECS/GEM）？

工控電腦與設備和主控端溝通用的通訊協定(SECS/GEM)