桌上型顯影機
手動式桌上型顯影機適合研究單位、學校實驗室及小量製程開發者，用於精準掌握光阻顯影的每一個關鍵細節。其最大效益在於讓操作人員能直接控制顯影時間、攪拌強度與溶液流動方式，特別適合需要頻繁調整參數、比對條件或測試新材料的使用情境。這類設備的特點是結構簡潔、維護容易，操作直觀，使用者能清楚觀察顯影過程，有助於建立對光阻反應與製程差異的理解。相較自動化設備，它具備更高的靈活度與更低的成本，讓單位能以有限預算搭建完整的黃光製程流程。
半自動顯影機
半自動顯影機在黃光製程中扮演確保圖樣品質的關鍵角色，特別適合研究單位、小量產線與新產品開發團隊。其最大效益在於透過程式化控制顯影時間、攪拌模式與溶液循環，使每次顯影結果保持高度一致，明顯降低因人工操作差異造成的線寬變動與缺陷。對於需要穩定重現性與精準度的應用環境，它能有效提升良率並縮短製程調校時間。 設備特點包括自動化液流控制、均勻攪拌、可設定顯影參數、潔淨耐蝕機構，並保留人工放片、取片的彈性，使其既能維持穩定性，又能快速切換不同光阻與製程條件，十分適合高變化性的研發工作。選用半自動顯影機的原因通常包括：提升顯影均勻度、減少人為誤差、避免過顯或欠顯、縮短實驗週期，以及加強製程可追溯性。相較手動顯影，它能顯著改善一致性；相較全自動系統，又具更佳成本效益與操作自由度。典型應用場景包括...
自動顯影機
全自動顯影機是一種高度整合的先進設備，搭載 SEMI 設備通訊架構與即時監控系統，能與上游及下游製程無縫連線，確保產線自動化與資訊化。其自動化機械手臂負責晶圓上下料，並結合定位架構確保準確對位；承盤系統具備耐酸蝕、真空吸附與藥液防滲設計，保證製程精度與安全性。相比半自動或手動設備，全自動顯影機可在大批量生產中兼顧高效能、高良率與操作安全，是量產線不可或缺的核心設備。 全自動顯影機是當前半導體製程與光電產業中不可或缺的高階設備，特別是在大批量生產與高品質控管的應用場景中更顯關鍵。隨著晶圓尺寸的多樣化與製程精度要求不斷提升，市場對能兼顧效率、良率與安全性的設備需求持續增加。全自動顯影機正是因應這一需求而廣泛被採用，其高度整合的自動化與通訊架構，能確保產線的穩定性與智慧化發展。 全自動顯影機結合...
手動旋轉塗佈機
科毅手動旋轉塗佈機用於光阻與薄膜材料的塗佈試作與製程參數建立，晶圓以真空吸附固定於夾具上，透過馬達旋轉產生離心力，使光阻均勻展開於基板表面。設備本體採用...