我們的桌上型顯影機優勢在於能快速切換不同配方與條件，協助研究人員優化曝光—顯影—蝕刻之間的整體製程。對於教學或早期研發階段，它能有效解決「自動設備調整不易」「參數修改成本高」「無法觀察細節」等問題。應用場景包括MEMS、光電元件、感測器、光阻材料研究及半導體基礎訓練，是協助使用者掌握顯影品質、建立可重現製程的可靠工具。

科毅科技的桌上型顯影機具有結構簡單、成本低與維護方便的優點，特別適合用於早期製程開發與教育訓練。

研究人員可透過人工操作直接觀察光阻顯影的反應，並依照實驗需求隨時調整條件，獲取不同參數下的顯影效果。相對於全自動設備，雖然一致性與效率較低，但靈活性高，能提供寶貴的製程數據與實務經驗，對研發探索非常重要。

產品規格

• 骨架：SUS 外殼WPP
• 馬達規格： AC Servo Motor
• 馬達轉速： 10-3000 RPM
• 轉速精度： 等速+/- 5RPM
• 噴嘴機構： 8 inch around ，固定式噴灑/可調整角度
• 適用晶圓尺寸： 2”-8”
• 承盤機構： 陶瓷/耐酸鹼功能，45度導角防止PR滲透
• 承盤平坦度： <10um
• 機器人手臂配置： 無配置
• 操作方式： 手動
• 控制系統： PLC+Touch Panel，30組可設定Recipe模組
• 安全裝置： 承盤真空滲液保護，真空檢知，漏電斷路保護

產品配備

• 主軸旋轉馬達
• 承盤機構
• 控制系統
• 安全裝置

產品選配

• 嵌入式數據蒐集架構

應用產業

• 研發實驗室
• 小批量試產
• 製程參數驗證與教學場合
• 適合對製程變數進行快速探索