เครื่องพัฒนาบนโต๊ะของเรามีความโดดเด่นในความสามารถในการเปลี่ยนสูตรและเงื่อนไขต่างๆ ได้อย่างรวดเร็ว ช่วยให้นักวิจัยสามารถปรับแต่งกระบวนการโดยรวมตั้งแต่การสัมผัสไปจนถึงการพัฒนาและการกัดกร่อน. สำหรับการสอนหรือการวิจัยและพัฒนาขั้นต้น พวกเขาแก้ไขปัญหาได้อย่างมีประสิทธิภาพ เช่น "ความยากลำบากในการปรับอุปกรณ์อัตโนมัติ," "ต้นทุนสูงในการปรับเปลี่ยนพารามิเตอร์," และ "ไม่สามารถสังเกตเห็นรายละเอียดได้." การใช้งานรวมถึง MEMS, อุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์, เซนเซอร์, การวิจัยวัสดุฟิล์มบาง, และการฝึกอบรมพื้นฐานเซมิคอนดักเตอร์. นี่เป็นเครื่องมือที่เชื่อถือได้ในการช่วยผู้ใช้ให้เชี่ยวชาญด้านคุณภาพการพัฒนาและสร้างกระบวนการที่สามารถทำซ้ำได้.
 
คู่มือของ M&R มีข้อดีเช่น โครงสร้างที่เรียบง่าย, ต้นทุนต่ำ, และการบำรุงรักษาที่ง่าย ทำให้เหมาะสมเป็นพิเศษสำหรับการพัฒนากระบวนการในระยะเริ่มต้นและการฝึกอบรม.
 
นักวิจัยสามารถสังเกตปฏิกิริยาการพัฒนาฟิล์มโฟโตเรซิสต์ได้โดยตรงผ่านการปฏิบัติงานด้วยตนเองและปรับเงื่อนไขตามที่ต้องการเพื่อให้ได้ผลลัพธ์การพัฒนาภายใต้พารามิเตอร์ที่แตกต่างกัน เมื่อเปรียบเทียบกับอุปกรณ์ที่ทำงานอัตโนมัติเต็มรูปแบบ แม้ว่าความสม่ำเสมอและประสิทธิภาพจะต่ำกว่า แต่ความยืดหยุ่นสูงก็ให้ข้อมูลกระบวนการที่มีค่าและประสบการณ์จริง ซึ่งมีความสำคัญต่อการวิจัยและพัฒนา.

ข้อมูลจำเพาะ

• กรอบ: ตัวเรือน SUS, WPP
• ข้อมูลจำเพาะของมอเตอร์: มอเตอร์เซอร์โว AC
• ความเร็วมอเตอร์: 10-3000 RPM
• ความเร็วความแม่นยำ: ความเร็วคงที่ +/- 5RPM
• กลไกหัวฉีด: 8 นิ้วรอบ, สเปรย์คงที่/มุมปรับได้
• ขนาดเวเฟอร์ที่ใช้ได้: 2”-8”
• กลไกแพด: ทนกรดและด่างเซรามิก, มุมเฉียง 45 องศาเพื่อป้องกันการซึมผ่านของ PR
• ความเรียบของแพด: <10um
• การกำหนดค่าหุ่นยนต์แขน: ไม่มี
• วิธีการดำเนินงาน: ด้วยมือ
• ระบบควบคุม: PLC + แผงสัมผัส, 30 โมดูลสูตรที่ปรับแต่งได้
• อุปกรณ์ความปลอดภัย: การป้องกันการรั่วไหลของสูญญากาศแผ่นรอง, การตรวจจับสูญญากาศ, การป้องกันเบรกเกอร์วงจรรั่ว

การกำหนดค่า

• มอเตอร์หมุนแกน
• กลไกการรองรับแผ่น
• ระบบควบคุม
• อุปกรณ์ความปลอดภัย

ตัวเลือก

• สถาปัตยกรรมการเก็บข้อมูลฝังตัว

แอปพลิเคชัน

• ห้องปฏิบัติการวิจัยและพัฒนา
• การผลิตต้นแบบขนาดเล็ก
• การตรวจสอบพารามิเตอร์กระบวนการและสถานการณ์การสอน
• เหมาะสำหรับการสำรวจตัวแปรกระบวนการอย่างรวดเร็ว