Manual Benchtop Developer
Ang mga manually controlled na benchtop developers ay perpekto para sa mga institusyong pananaliksik, mga laboratoryo ng unibersidad, at mga maliliit na developer ng proseso, na nagbibigay-daan para sa tumpak na kontrol sa bawat kritikal na detalye ng pag-unlad ng photoresist. Ang pangunahing benepisyo nito ay nakasalalay sa pagpapahintulot sa mga operator na direktang kontrolin ang oras ng pag-unlad, tindi ng pag-ugoy, at daloy ng solusyon, na ginagawang partikular na angkop para sa mga aplikasyon na nangangailangan ng madalas na pagsasaayos ng mga parameter, paghahambing ng mga kondisyon, o pagsubok ng mga bagong materyales.
Ang mga aparatong ito ay nailalarawan sa kanilang simpleng estruktura, kadalian ng pagpapanatili, at madaling operasyon, na nagpapahintulot sa mga gumagamit na malinaw na obserbahan ang proseso ng pag-unlad at nagtataguyod ng pag-unawa sa mga reaksyon ng photoresist at mga pagbabago sa proseso. Kumpara sa mga automated na kagamitan, nag-aalok sila ng mas malaking kakayahang umangkop at mas mababang gastos, na nagbibigay-daan sa mga organisasyon na bumuo ng kumpletong mga daloy ng trabaho ng photoresist sa loob ng isang limitadong badyet.
Mga bentahe ng M&R na manu-manong makina ng pagbuo
Ang aming mga benchtop na makina para sa pagbuo ay namumukod-tangi sa kanilang kakayahang mabilis na lumipat sa pagitan ng iba't ibang pormulasyon at kondisyon, na tumutulong sa mga mananaliksik na i-optimize ang kabuuang proseso mula sa exposure hanggang sa pagbuo at pag-ukit. Para sa pagtuturo o maagang yugto ng R&D, epektibo nilang tinutugunan ang mga isyu tulad ng "kahirapan sa pag-aangkop ng mga automated na kagamitan," "mataas na gastos sa pagbabago ng mga parameter," at "kakulangan sa kakayahang obserbahan ang mga detalye." Kasama sa mga aplikasyon ang MEMS, mga optoelectronic na bahagi, mga sensor, pananaliksik sa photoresist na materyal, at pagsasanay sa mga batayan ng semiconductor. Ito ay isang maaasahang kasangkapan upang tulungan ang mga gumagamit na masterin ang kalidad ng pag-unlad at magtatag ng mga maulit-ulit na proseso.
Ang mga manwal na developer ng M&R ay nag-aalok ng mga bentahe tulad ng simpleng estruktura, mababang gastos, at madaling pagpapanatili, na ginagawang partikular na angkop para sa maagang yugto ng pagbuo ng proseso at pagsasanay.
Maaaring direktang obserbahan ng mga mananaliksik ang reaksyon ng pagbuo ng photoresist sa pamamagitan ng manu-manong operasyon at ayusin ang mga kondisyon ayon sa kinakailangan upang makuha ang mga resulta ng pagbuo sa ilalim ng iba't ibang mga parameter. Kumpara sa ganap na awtomatikong kagamitan, bagaman mas mababa ang pagkakapareho at kahusayan, ang mataas na kakayahang umangkop ay nagbibigay ng mahalagang datos ng proseso at praktikal na karanasan, na napakahalaga para sa pananaliksik at pag-unlad.
Mga Espesipikasyon
- Frame: SUS housing, WPP
- Mga Espesipikasyon ng Motor: AC Servo Motor
- Bilis ng Motor: 10-3000 RPM
- Tumpak na Bilis: Constant speed +/- 5RPM
- Mekanismo ng Nozzle: 8 pulgada ang paligid, nakapirming spray/naka-adjust na anggulo
- Naaangkop na Sukat ng Wafer: 2”-8”
- Mekanismo ng Pad: Ceramic/tumutol sa acid at alkali, 45-degree chamfer upang maiwasan ang pagtagos ng PR
- Patag ng Pad: <10um
- Konfigurasyon ng Robot Arm: Wala
- Paraan ng Operasyon: Manwal
- Sistema ng Kontrol: PLC + Touch Panel, 30 na ma-configure na recipe modules
- Mga Kagamitan sa Kaligtasan: Proteksyon sa pagtagas ng vacuum ng pad, pagtuklas ng vacuum, proteksyon ng circuit breaker sa pagtagas
Konfigurasyon
- Spindle rotary motor
- Mekanismo ng pagdadala ng plato
- Sistema ng kontrol
- Mga aparato ng kaligtasan
Mga Opsyon
- Naka-embed na arkitektura ng pagkolekta ng data
Mga Aplikasyon
- R&D laboratoryo
- Maliit na batch na pilot production
- Pag-verify ng mga parameter ng proseso at mga senaryo ng pagtuturo
- Angkop para sa mabilis na pagsisiyasat ng mga variable ng proseso
Manual Benchtop DeveloperPropesyonal na Custom na Semiconductor at Optoelectronic na Kagamitan sa Proseso
M&R NANO TECHNOLOGY ay nagbibigay ng mataas na kalidad na Manual Benchtop Developer at kagamitan sa proseso ng semiconductor at optoelectronic na dinisenyo para sa mga advanced na semiconductor, optoelectronic, at mga aplikasyon sa pagsubok.Ang aming linya ng produkto ay kinabibilangan ng detalyadong Mask Aligners, Spin Coaters, at Developers na ginawa sa aming pasilidad sa Taoyuan, Taiwan na may malakas na kakayahan sa awtomasyon.
Nakatuon kami sa paghahatid ng matatag na kalidad at tumpak na pag-customize sa pamamagitan ng aming in-house na R&D at teknolohiya ng miniaturization. Tinitiyak nito na ang bawat sistema ay nakakatugon sa mahigpit na mga kinakailangan sa proseso habang pinapanatili ang praktikal na tibay, mababang gastos, at mataas na kahusayan para sa mga end-user.
Para sa mga pandaigdigang mamimili, M&R NANO TECHNOLOGY ay nag-aalok ng maaasahang suporta sa pagmamanupaktura na nagpapadali sa proseso ng pagkuha. Nagbibigay kami ng tumutugon na komunikasyon, mahusay na integrasyon ng awtomasyon, at pare-parehong pagpapanatili pagkatapos ng benta upang matulungan ang mga customer na matagumpay na ilunsad ang kanilang kagamitan sa proseso ng semiconductor & optoelectronic sa produksyon.

