我们的桌上型显影机优势在于能快速切换不同配方与条件，协助研究人员优化曝光—显影—蚀刻之间的整体制程。对于教学或早期研发阶段，它能有效解决「自动设备调整不易」「参数修改成本高」「无法观察细节」等问题。应用场景包括MEMS、光电组件、传感器、光阻材料研究及半导体基础训练，是协助用户掌握显影质量、建立可重现制程的可靠工具。科毅科技的桌上型显影机具有结构简单、成本低与维护方便的优点，特别适合用于早期制程开发与教育训练。

研究人员可透过人工操作直接观察光阻显影的反应，并依照实验需求随时调整条件，获取不同参数下的显影效果。相对于全自动设备，虽然一致性与效率较低，但灵活性高，能提供宝贵的制程数据与实务经验，对研发探索非常重要。

产品规格

• 骨架：SUS 外壳WPP
• 马达规格：AC Servo Motor
• 马达转速：10-3000 RPM
• 转速精度：等速+/- 5RPM
• 喷嘴机构：8 inch around ，固定式喷洒/可调整角度
• 适用晶圆尺寸：2”-8”
• 承盘机构：陶瓷/耐酸碱功能，45度导角防止PR渗透
• 承盘平坦度：<10um
• 机器人手臂配置：无配置
• 操作方式：手动
• 控制系统：PLC+Touch Panel，30组可设定Recipe模块
• 安全装置：承盘真空渗液保护，真空检知，漏电断路保护

产品配备

• 主轴旋转马达
• 承盘机构
• 控制系统
• 安全装置

产品选配

• 嵌入式数据搜集架构

应用产业

• 研发实验室
• 小批量试产
• 制程参数验证与教学场合
• 适合对制程变量进行快速探索