Développeur de banc manuel
Les développeurs de bancs de laboratoire contrôlés manuellement sont idéaux pour les institutions de recherche, les laboratoires universitaires et les développeurs de processus à petite échelle, permettant un contrôle précis sur chaque détail critique du développement de photoresist. Son principal avantage réside dans la possibilité pour les opérateurs de contrôler directement le temps de développement, l'intensité de l'agitation et le flux de solution, les rendant particulièrement adaptés aux applications nécessitant des ajustements fréquents des paramètres, des comparaisons de conditions ou des tests de nouveaux matériaux.
Ces dispositifs se caractérisent par leur structure simple, leur facilité d'entretien et leur fonctionnement intuitif, permettant aux utilisateurs d'observer clairement le processus de développement et favorisant la compréhension des réactions de photoresist et des variations de processus. Par rapport aux équipements automatisés, ils offrent une plus grande flexibilité et des coûts inférieurs, permettant aux organisations de construire des flux de travail complets de photoresist dans un budget limité.
Avantages de la machine de développement manuelle de M&R
Nos machines de développement de banc de laboratoire excellent par leur capacité à passer rapidement d'une formulation à une autre et à différentes conditions, aidant les chercheurs à optimiser l'ensemble du processus, de l'exposition au développement jusqu'à la gravure. Pour l'enseignement ou la R&D en phase précoce, ils traitent efficacement des problèmes tels que "difficulté à ajuster les équipements automatisés," "coût élevé de la modification des paramètres," et "incapacité à observer les détails." Les applications incluent les MEMS, les composants optoélectroniques, les capteurs, la recherche sur les matériaux de photoresist et la formation aux fondamentaux des semi-conducteurs. C'est un outil fiable pour aider les utilisateurs à maîtriser la qualité du développement et à établir des processus reproductibles.
Le manuel des développeurs de M&R offre des avantages tels qu'une structure simple, un faible coût et une maintenance facile, ce qui les rend particulièrement adaptés au développement de processus en phase initiale et à la formation.
Les chercheurs peuvent observer directement la réaction de développement du photoresist par une opération manuelle et ajuster les conditions si nécessaire pour obtenir des résultats de développement sous différents paramètres. Comparé à des équipements entièrement automatisés, bien que la cohérence et l'efficacité soient inférieures, la grande flexibilité fournit des données de processus précieuses et une expérience pratique, ce qui est crucial pour la recherche et le développement.
Spécifications
- Cadre : boîtier SUS, WPP
- Spécifications du moteur : moteur servo AC
- Vitesse du moteur : 10-3000 RPM
- Précision de la vitesse : Vitesse constante +/- 5RPM
- Mécanisme de buse : 8 pouces de diamètre, pulvérisation fixe/angle ajustable
- Taille de wafer applicable : 2”-8”
- Mécanisme de pad : Résistant aux acides et aux alcalins en céramique, chanfrein de 45 degrés pour éviter la pénétration de PR
- Planéité du pad : <10um
- Configuration du bras robotique : Aucune
- Méthode d'opération : Manuelle
- Système de contrôle : PLC + panneau tactile, 30 modules de recette configurables
- Dispositifs de sécurité : protection contre les fuites de vide du tampon, détection de vide, protection par disjoncteur de fuite
Configuration
- Moteur rotatif de broche
- Mécanisme de palier de plaque
- Système de contrôle
- Dispositifs de sécurité
Possibilités
- Architecture de collecte de données intégrée
Applications
- Laboratoire de R&D
- Production pilote en petites séries
- Vérification des paramètres de processus et scénarios d'enseignement
- Adapté à l'exploration rapide des variables de processus
Développeur de banc manuelÉquipement de processus semi-conducteurs et optoélectroniques sur mesure
M&R NANO TECHNOLOGY fournit des équipements de processus de haute qualité en Développeur de banc manuel et en semi-conducteurs & optoélectronique, conçus pour des applications avancées en semi-conducteurs, optoélectronique et tests.Notre gamme de produits comprend des aligneurs de masques détaillés, des revêtements par rotation et des développeurs fabriqués dans notre usine de Taoyuan, à Taïwan, dotée de fortes capacités d'automatisation.
Nous nous concentrons sur la livraison d'une qualité stable et d'une personnalisation précise grâce à notre R&D interne et à notre technologie de miniaturisation. Cela garantit que chaque système répond à des exigences de processus strictes tout en maintenant une durabilité pratique, un faible coût et une haute efficacité pour les utilisateurs finaux.
Pour les acheteurs mondiaux, M&R NANO TECHNOLOGY offre un support de fabrication fiable qui simplifie le processus d'approvisionnement. Nous fournissons une communication réactive, une intégration d'automatisation efficace et un entretien après-vente constant pour aider les clients à mettre en production avec succès leur équipement de traitement des semi-conducteurs et optoélectroniques.

