
Expertise en brevets
Brevets de design
M&R a toujours adhéré à la recherche et au développement indépendants ainsi qu'à l'innovation technologique, accumulant une expertise technique approfondie dans le domaine des équipements de photolithographie à semi-conducteurs. Pour offrir aux acheteurs des options d'approvisionnement plus compétitives et à moindre risque, nous avons continuellement obtenu de nombreuses certifications de brevets clés pour des équipements essentiels tels que les machines d'exposition, les machines de revêtement et les dispositifs de nettoyage.
- Brevets de design
- Mécanisme de nivellement de dispositif de positionnement universel pour machine d'exposition
- Dispositif d'alignement auxiliaire avec source de lumière coaxiale
- Machine d'exposition de plaquettes
- Machine de revêtement de photoresist avec structure isolante thermique
- Machine de revêtement de photoresist avec structure isolante thermique
- Structure optique de l'alignateur à transmission lumineuse
- Dispositif de nettoyage de surface à détection de bord synchronisé rotatif
- Dispositif de positionnement de plaquette pour machine de revêtement
- Mécanisme d'alignement intégré et dispositif d'alignement d'exposition avec ce mécanisme
- Mécanisme de nivellement automatique pour les angles horizontaux et de tangage du bord de la plaquette et du photomask pour la compensation des erreurs de coin dans la machine d'exposition - Nouveau
- Mécanisme de nivellement automatique pour les angles horizontaux et de tangage du bord de la plaquette et du photomask pour la compensation des erreurs de coin dans la machine d'exposition - Invention
- Dispositif optique de la machine d'exposition
- Dispositif de dissipation de chaleur de plaque lumineuse pour la machine d'exposition