
ความเชี่ยวชาญด้านสิทธิบัตร
สิทธิบัตรการออกแบบ
M&R ยึดมั่นในงานวิจัยและพัฒนาอิสระรวมถึงนวัตกรรมทางเทคโนโลยีเสมอมา สะสมความเชี่ยวชาญทางเทคนิคที่ลึกซึ้งในด้านอุปกรณ์ฟอตโทลิธอกราฟีเซมิคอนดักเตอร์ เพื่อให้ผู้ซื้อมีทางเลือกในการจัดซื้อที่แข่งขันได้มากขึ้นและมีความเสี่ยงต่ำ เราได้ทำการขอรับการรับรองสิทธิบัตรสำคัญสำหรับอุปกรณ์หลัก เช่น เครื่องถ่ายภาพ เครื่องเคลือบ และอุปกรณ์ทำความสะอาดอย่างต่อเนื่อง.
- สิทธิบัตรการออกแบบ
- กลไกการปรับระดับของอุปกรณ์กำหนดตำแหน่งทั่วไปสำหรับเครื่องถ่ายภาพ
- อุปกรณ์จัดแนวเสริมพร้อมแหล่งกำเนิดแสงร่วมแกน
- เครื่องถ่ายภาพเวเฟอร์
- เครื่องเคลือบฟิล์มโฟโต้เรซิสต์ที่มีโครงสร้างกันความร้อน
- เครื่องเคลือบฟิล์มโฟโต้เรซิสต์ที่มีโครงสร้างกันความร้อน
- โครงสร้างออปติคัลของอุปกรณ์จัดแนวที่ส่งผ่านแสง
- อุปกรณ์ทำความสะอาดพื้นผิวหาตำแหน่งขอบแบบหมุนซิงโครนัส
- อุปกรณ์กำหนดตำแหน่งเวเฟอร์สำหรับเครื่องเคลือบ
- กลไกการจัดแนวแบบรวมและอุปกรณ์จัดแนวการถ่ายภาพที่มีกลไกดังกล่าว
- กลไกระดับอัตโนมัติสำหรับมุมแนวนอนและมุมเอียงของขอบเวเฟอร์และฟิล์มถ่ายภาพสำหรับการชดเชยข้อผิดพลาดแบบเอียงในเครื่องถ่ายภาพ - นวัตกรรมใหม่
- กลไกระดับอัตโนมัติสำหรับมุมแนวนอนและมุมเอียงของขอบเวเฟอร์และฟิล์มถ่ายภาพสำหรับการชดเชยข้อผิดพลาดแบบเอียงในเครื่องถ่ายภาพ - สิ่งประดิษฐ์
- อุปกรณ์ออปติคัลของเครื่องถ่ายภาพ
- อุปกรณ์ระบายความร้อนแผ่นไฟสำหรับเครื่องถ่ายภาพ