
خبرة براءات الاختراع
براءة اختراع التصميم
لقد التزمت M&R دائماً بالبحث والتطوير المستقل والابتكار التكنولوجي، مما أكسبها خبرة تقنية عميقة في مجال معدات الفوتوليثوغرافيا شبه الموصلة. لتوفير خيارات شراء أكثر تنافسية وأقل مخاطر للمشترين، حصلنا باستمرار على العديد من شهادات براءات الاختراع الرئيسية للمعدات الأساسية مثل آلات التعريض، وآلات الطلاء، وأجهزة التنظيف.
- براءات التصميم
- آلية تسوية جهاز تحديد المواقع العالمي لآلة التعريض
- جهاز محاذاة مساعد مع مصدر ضوء مترافق
- آلة تعريض الرقائق
- آلة طلاء الفوتوريسيت مع هيكل عازل للحرارة
- آلة طلاء الفوتوريسيت مع هيكل عازل للحرارة
- الهيكل البصري لجهاز المحاذاة الناقل للضوء
- جهاز تنظيف سطح تحديد الحواف المتزامن الدوراني
- جهاز تحديد مواقع الرقائق لآلة الطلاء
- آلية محاذاة متكاملة وجهاز محاذاة التعريض مع هذه الآلية
- آلية تسوية تلقائية لزوايا الأفق وزاوية الميل لحافة الرقاقة والفوتوماسك لتعويض خطأ الوتر في آلة التعريض - جديد
- آلية تسوية تلقائية لزوايا الأفق وزاوية الميل لحافة الرقاقة والفوتوماسك لتعويض خطأ الوتر في آلة التعريض - اختراع
- جهاز بصري لآلة التعريض
- جهاز تبديد حرارة اللوحة الضوئية لآلة التعريض