光罩除塵機

MCS 風刀式除塵機是科毅科技專為高潔淨要求與精密製程環境所研發的工業級乾式除塵設備，廣泛應用於半導體製造及光學元件處理等關鍵領域。該設備採用非接觸式清潔技術，透過高壓高速風刀產生穩定且均勻的氣流，有效去除晶圓、光罩及Pellicle表面的奈米級微粒與污染物，同時避免傳統接觸式清潔可能造成的刮傷或損傷。由於全程不使用水、化學藥液或溶劑，能大幅降低殘留風險與二次污染，特別適用於高價值與高精密度元件。MCS 系統亦具備優異的潔淨控制與穩定性能，有助於提升製程一致性與產品良率，是現代先進製程中不可或缺的重要清潔解決方案。