Pertanyaan Umum tentang Rekayasa dan R&D

Pertanyaan Umum tentang Rekayasa dan R&D

Pertanyaan Umum tentang Rekayasa dan R&D

Bagian ini berfokus pada desain rekayasa dan integrasi sistem dari peralatan paparan, mencakup topik teknis seperti manajemen sumber cahaya, pengukuran iluminasi, struktur peralatan, dan arsitektur kontrol. Dengan menganalisis modul peralatan kunci dan pertimbangan desain dari perspektif rekayasa dan R&D, ini membantu pengguna membuat keputusan teknis yang lebih tepat selama pengembangan proses dan optimasi peralatan.


Sumber Cahaya, Penerangan, dan Pengukuran

Sebuah alat eksposur memiliki daya sumber cahaya 200 W dan area eksposur 100 cm². Berapa intensitas penerangannya?

Metode perhitungan adalah daya dibagi dengan area:
200 ÷ 100 = 2 W/cm².

Bagaimana cara mengonfirmasi pengiriman energi paparan selama paparan?
  • Ada dua metode:
  • Hitung waktu paparan yang diperlukan berdasarkan nilai iluminasi yang telah ditentukan untuk mencapai energi target.
  • Gunakan sensor untuk memantau dan mengakumulasi energi paparan secara real time.
Apa saja item yang harus diperiksa ketika intensitas iluminasi menurun?
  • Item pemeriksaan untuk lampu UV (lampu merkuri) yang menua atau mengalami degradasi abnormal:
  • Periksa apakah daya, tegangan, dan arus lampu UV (lampu merkuri) benar (nilai standar dapat dirujuk dari rumah lampu).
  • Verifikasi apakah posisi lampu UV (lampu merkuri) benar; sumbu X, Y, dan Z harus disesuaikan ke posisi optimal.
  • Periksa apakah reflektor mengalami oksidasi.
  • Periksa apakah lensa fly-eye menunjukkan kabut atau embun.
  • Ganti lampu UV (lampu merkuri) untuk memastikan apakah ada cacat.
  • Verifikasi apakah meteran pencahayaan berfungsi dengan baik.
Berapa lama lampu merkuri dapat digunakan?

Umur layanan lampu merkuri terutama tergantung pada jumlah siklus penyalaan dan total jam operasi.
Dalam kondisi operasi normal, umur layanan bervariasi berdasarkan daya: 350W, 500W, 1000W, 2000W, dan 5000W.
Harap dicatat bahwa sistem paparan mencakup beberapa komponen optik, yang sebagian besar dilapisi dengan film optik khusus.Pelapis ini dapat terdegradasi seiring waktu karena suhu, kelembapan, dan kondisi pH.Inspeksi rutin terhadap fungsionalitas dan penampilan disarankan, dengan catatan yang tepat dipelihara.Jika ada masalah, silakan konsultasikan langsung dengan profesional M&R.

Berapa umur lampu merkuri 2 kW?

Umur lampu merkuri 2 kW adalah sekitar 1.000 jam.

Berapa lama seseorang harus menunggu sebelum menyalakan kembali lampu merkuri setelah dimatikan?

Setelah mematikan lampu merkuri, waktu tunggu 30 menit diperlukan sebelum menyalakan kembali.

Struktur Peralatan dan Modul Kunci

Apa fungsi dari Bendera?

Bendera adalah komponen yang dapat ditarik kembali atau berputar dengan bola keramik yang dipasang di bagian depan. Selama penyeimbangan substrat dan masker, bola keramik berfungsi sebagai media kontak antara substrat dan masker, mencegah kontaminasi fotoresist pada masker.

Apa itu Pemegang Masker?

Pemegang Masker adalah platform yang digunakan untuk mengamankan fotomasker. Setelah diposisikan, masker dipegang di tempatnya menggunakan hisapan vakum.

Bagaimana cara mengganti fotomasker?

Alat eksposur dapat diklasifikasikan menjadi konfigurasi masker yang dipasang di atas dan di bawah.

Untuk sistem yang dipasang di atas, masker dipasang langsung dengan vakum di atas Penahan Masker.Penggantian masker dilakukan dengan melepaskan vakum, memasang masker baru, dan menerapkan kembali vakum.
Untuk sistem yang dipasang di bawah, Pemegang Masker harus ditarik keluar dan dibalik, vakum dilepaskan, masker diganti, dan kemudian Pemegang Masker dipasang kembali.
Selain itu, perusahaan kami menyediakan alat pengganti masker khusus untuk sistem yang dipasang di bawah, memungkinkan penggantian masker yang mudah tanpa mengeluarkan Pemegang Masker.

Parameter operasional apa yang harus dipertimbangkan untuk peralatan eksposur?

Keflatan chip dan akurasi penyelarasan antara masker dan chip.

Sistem Kontrol dan Otomasi

Jenis arsitektur sistem kontrol apa yang biasanya digunakan dalam alat eksposur?

Biasanya, kombinasi dari Industrial PC (IPC), PLC, dan kartu kontrol gerakan digunakan.
IPC menangani algoritma dan antarmuka manusia-mesin (HMI), PLC mengelola logika keselamatan, dan kartu kontrol gerakan mengontrol gerakan tahap berkecepatan tinggi.

Arsitektur apa yang digunakan untuk sistem peralatan otomatis?

PC industri berkomunikasi dengan peralatan dan sistem host menggunakan protokol komunikasi seperti SECS/GEM.

Protokol komunikasi apa yang digunakan dalam sistem otomatisasi (SECS/GEM)?

PC industri menggunakan protokol SECS/GEM untuk berkomunikasi dengan peralatan dan sistem kontrol host.

Pertanyaan Umum tentang Rekayasa dan R&D | M&R TEKNOLOGI NANO

M&R NANO TECHNOLOGY mengembangkan peralatan proses semikonduktor & optoelektronik untuk pasar global. Didukung oleh 25 tahun pengalaman dalam manufaktur presisi dan dukungan R&D, kami membantu klien mendapatkan sistem canggih yang menggabungkan kualitas stabil, integrasi otomatisasi, dan efisiensi tinggi.

Struktur produksi kami dibangun di sekitar kebutuhan klien yang memerlukan peralatan yang dapat diandalkan di berbagai aplikasi optoelektronik dan semikonduktor. Dari desain dan pembuatan fotomask hingga solusi peralatan yang disesuaikan, M&R NANO TECHNOLOGY fokus pada pembuatan yang meningkatkan efisiensi alur kerja, mendukung kualitas pengujian ruang bersih Kelas 1000 yang ketat, dan memperkuat nilai operasional.

Untuk pembeli internasional, M&R NANO TECHNOLOGY menawarkan lebih dari sekadar mesin terisolasi. Kami menyediakan kemitraan manufaktur yang dibentuk oleh komunikasi yang responsif, integrasi otomatisasi yang fleksibel, dan dukungan pemeliharaan purna jual yang proaktif. Ini membantu pelanggan membangun lini produksi yang lebih kuat dengan peralatan yang dapat diandalkan, penempatan yang disesuaikan secara praktis, dan kualitas langsung dari pabrik yang dapat mereka andalkan dengan percaya diri.