मैनुअल स्पिन कोटर | M&R नैनो प्रौद्योगिकी सेमीकंडक्टर & ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक प्रक्रिया उपकरण
M&R का मैनुअल स्पिन कोटर फोटोरेसिस्ट और पतली फिल्म सामग्री कोटिंग परीक्षणों और प्रक्रिया पैरामीटर स्थापना के लिए उपयोग किया जाता है। वाफर्स को एक फिक्स्चर पर वैक्यूम-चिपकने वाले के साथ फिक्स किया जाता है, और एक मोटर की घूर्णन द्वारा उत्पन्न सेंट्रिफ्यूगल बल सुनिश्चित करता है कि फोटोरेसिस्ट सब्सट्रेट सतह पर समान रूप से फैल जाए। उपकरण का शरीर रासायनिक-प्रतिरोधी सामग्रियों जैसे कि पीपी, पीटीएफई, और एल्यूमिनियम मिश्र धातु से बना है, जो फोटोरेसिस्ट और पूर्व-विकास चरणों के गीले प्रसंस्करण वातावरण को सहन करने में सक्षम है, जिससे यह दीर्घकालिक अनुसंधान और विकास के उपयोग के लिए उपयुक्त है। यह उपकरण विशेष रूप से प्रारंभिक फॉर्मूलेशन और प्रक्रिया स्थिति अन्वेषण चरणों के लिए उपयुक्त है, जो स्वचालन से पहले कोटिंग व्यवहार और फिल्म की समानता की त्वरित पुष्टि की अनुमति देता है, परीक्षण उत्पादन लागत को कम करता है और बाद की प्रक्रिया मानकों की स्थापना करता है।
नियंत्रण विधियाँ आवश्यकताओं के अनुसार चयनित की जा सकती हैं। बुनियादी मॉडल दो-चरणीय गति और समय नियंत्रण प्रदान करता है; प्रोग्रामेबल संस्करण, जो एक PLC और HMI से सुसज्जित है, कई प्रक्रिया फॉर्मूले रिकॉर्ड कर सकता है और प्रत्येक चरण के लिए गति, समय, और त्वरण/विलंबन प्रवाह सेट कर सकता है, जिससे प्रक्रिया की स्थिति की तुलना और नमूने की पुनरुत्पादन सत्यापन में सुविधा होती है। बड़े आकार के वेफर्स के लिए, संचालन के बोझ को कम करने के लिए एक स्वचालित कैपिंग डिवाइस जोड़ी जा सकती है। अपशिष्ट तरल निकासी, रिसाव सुरक्षा, आपातकालीन रोक, और गलत संचालन से बचाव के डिज़ाइन भी परिचालन सुरक्षा को बढ़ाने के लिए जोड़े जा सकते हैं। यह उपकरण सामान्यतः फोटोरेसिस्ट कोटिंग फॉर्मूलेशन विकास, प्रारंभिक एनपीआई पायलट उत्पादन, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक और मेम्स पतली फिल्म प्रक्रिया विकास, और शैक्षणिक और अनुसंधान संस्थानों में फ्रंट-एंड प्रक्रिया शिक्षण के लिए उपयोग किया जाता है। इसे मैनुअल एक्सपोजर मशीनों और बेंचटॉप डेवलपिंग मशीनों के साथ जोड़ा जा सकता है ताकि एक पूर्ण फोटोरेसिस्ट प्रक्रिया कार्यस्थल बनाया जा सके।उच्च गुणवत्ता वाले सेमीकंडक्टर और ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक प्रक्रिया उपकरण और विश्वसनीय कस्टम निर्माताओं के लिए M&R नैनो प्रौद्योगिकी चुनें।
मैनुअल स्पिन कोटर
M&R का मैनुअल स्पिन कोटर फोटोरेसिस्ट और पतली फिल्म सामग्री कोटिंग परीक्षणों और प्रक्रिया पैरामीटर स्थापना के लिए उपयोग किया जाता है। वाफर्स को एक फिक्स्चर पर वैक्यूम-चिपकने वाले के साथ फिक्स किया जाता है, और एक मोटर की घूर्णन द्वारा उत्पन्न सेंट्रिफ्यूगल बल सुनिश्चित करता है कि फोटोरेसिस्ट सब्सट्रेट सतह पर समान रूप से फैल जाए। उपकरण का शरीर रासायनिक-प्रतिरोधी सामग्रियों जैसे कि पीपी, पीटीएफई, और एल्यूमिनियम मिश्र धातु से बना है, जो फोटोरेसिस्ट और पूर्व-विकास चरणों के गीले प्रसंस्करण वातावरण को सहन करने में सक्षम है, जिससे यह दीर्घकालिक अनुसंधान और विकास के उपयोग के लिए उपयुक्त है। यह उपकरण विशेष रूप से प्रारंभिक फॉर्मूलेशन और प्रक्रिया स्थिति अन्वेषण चरणों के लिए उपयुक्त है, जो स्वचालन से पहले कोटिंग व्यवहार और फिल्म की समानता की त्वरित पुष्टि की अनुमति देता है, परीक्षण उत्पादन लागत को कम करता है और बाद की प्रक्रिया मानकों की स्थापना करता है।
नियंत्रण विधियाँ आवश्यकताओं के अनुसार चयनित की जा सकती हैं। बुनियादी मॉडल दो-चरणीय गति और समय नियंत्रण प्रदान करता है; प्रोग्रामेबल संस्करण, जो एक PLC और HMI से सुसज्जित है, कई प्रक्रिया फॉर्मूले रिकॉर्ड कर सकता है और प्रत्येक चरण के लिए गति, समय, और त्वरण/विलंबन प्रवाह सेट कर सकता है, जिससे प्रक्रिया की स्थिति की तुलना और नमूने की पुनरुत्पादन सत्यापन में सुविधा होती है। बड़े आकार के वेफर्स के लिए, संचालन के बोझ को कम करने के लिए एक स्वचालित कैपिंग डिवाइस जोड़ी जा सकती है। अपशिष्ट तरल निकासी, रिसाव सुरक्षा, आपातकालीन रोक, और गलत संचालन से बचाव के डिज़ाइन भी परिचालन सुरक्षा को बढ़ाने के लिए जोड़े जा सकते हैं। यह उपकरण सामान्यतः फोटोरेसिस्ट कोटिंग फॉर्मूलेशन विकास, प्रारंभिक एनपीआई पायलट उत्पादन, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक और मेम्स पतली फिल्म प्रक्रिया विकास, और शैक्षणिक और अनुसंधान संस्थानों में फ्रंट-एंड प्रक्रिया शिक्षण के लिए उपयोग किया जाता है। इसे मैनुअल एक्सपोजर मशीनों और बेंचटॉप डेवलपिंग मशीनों के साथ जोड़ा जा सकता है ताकि एक पूर्ण फोटोरेसिस्ट प्रक्रिया कार्यस्थल बनाया जा सके।
M&R के मैनुअल रोटरी कोटिंग मशीन के लाभ
आर&डी प्रयोगशालाओं और शिक्षण वातावरण में, शोधकर्ता अक्सर M&R के मैनुअल स्पिन कोटर्स का उपयोग फोटोरेसिस्ट, नैनोमैटेरियल या पतली फिल्म के समान कोटिंग के लिए करते हैं। उन्हें अनुकूल प्रक्रिया की स्थितियों का निर्धारण करने के लिए एक छोटे समय में कई पैरामीटर परीक्षण करने की आवश्यकता होती है।
M&R की मशीन डिज़ाइन संचालन स्थिरता और स्पिन नियंत्रण सटीकता पर जोर देती है, जिससे उपयोगकर्ता कम लागत पर अत्यधिक पुनरुत्पादक कोटिंग परिणाम प्राप्त कर सकते हैं। प्रारंभिक विकास या प्रयोगात्मक शिक्षण के लिए, यह उपकरण उच्च संचालन क्षमता और एक सहज इंटरफ़ेस प्रदान करता है, जिससे छात्रों और शोधकर्ताओं को स्पिन गति, समय और कोटिंग मोटाई के बीच संबंध को स्पष्ट रूप से समझने की अनुमति मिलती है। आर एंड डी इंजीनियरों के लिए, यह तेजी से छोटे पैमाने पर नमूना कोटिंग की अनुमति देता है, महंगे स्वचालित उपकरणों के उपयोग के समय और लागत के बोझ को कम करता है। M&R कस्टमाइज्ड फिक्स्चर और मजबूत आफ्टर-सेल्स सपोर्ट भी प्रदान करता है, जिससे उपकरण विभिन्न वेफर आकारों और सामग्री आवश्यकताओं के अनुसार लचीले ढंग से अनुकूलित हो सकता है, जिससे यह शिक्षा, सामग्री अनुसंधान और प्रक्रिया विकास के लिए एक विश्वसनीय और आर्थिक विकल्प बनता है।
विशेषताएँ
- टुकड़े, 1-इंच से 12-इंच चिल्स (विफर केंद्रित फिक्स्चर सहित)।
- रोटरी मोटर्स (10~6000 RPM)।
- वेस्ट लिक्विड ड्रेनेज सिस्टम।
- वेंटिलेशन सिस्टम।
- इंटरलॉक सुरक्षा उपकरण।
- दो-चरण टाइमर नियंत्रण।
- PLC प्रोग्रामेबल नियंत्रण इंटरफेस।
- बहु-चरण नुस्खा नियंत्रण।
कॉन्फ़िगरेशन
- एकल आकार का चक और केंद्रित fixture।
- फोटोरेसिस्ट स्प्रेइंग सिस्टम (प्रेशर टैंक)।
- EMO आपातकालीन सुरक्षा बटन।
- वैक्यूम पंप।
विकल्प
- टेबलटॉप या फ्लोर-स्टैंडिंग प्रकार।
- CHUCK और केंद्रित इकाई के कई आकार।
- वेस्ट लिक्विड ड्रेनेज सिस्टम।
- इंटरलॉक सुरक्षा उपकरण।
- प्रोग्रामेबल पीएलसी नियंत्रण, एचएमआई इंटरफेस।
- मल्टी-स्टेज फॉर्मूला नियंत्रण (100 फॉर्मूलों तक का समर्थन करता है, प्रत्येक फॉर्मूला के लिए 30 चरण)।
- वेंटिलेशन सिस्टम।
- स्वचालित कैप खोलने का उपकरण।
- टेफ्लॉन चक।
अनुप्रयोग
- फ्लैट पैनल डिस्प्ले
- प्रिंटेड सर्किट बोर्ड (पीसीबी)
- सेमीकंडक्टर्स और आईसी पैकेजिंग
- फोटोरेसिस्ट कोटिंग की आवश्यकता वाले उद्योग, जैसे लिथियम बैटरी, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्स, और ऊर्जा भंडारण।
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मैनुअल स्पिन कोटरपेशेवर कस्टम सेमीकंडक्टर और ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक प्रक्रिया उपकरण
M&R नैनो प्रौद्योगिकी उच्च गुणवत्ता वाले मैनुअल स्पिन कोटर और अर्धचालक एवं ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक प्रक्रिया उपकरण प्रदान करती है, जो उन्नत अर्धचालक, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक, और परीक्षण अनुप्रयोगों के लिए डिज़ाइन किए गए हैं।हमारी उत्पाद श्रृंखला में विस्तृत मास्क संरेखक, स्पिन कोटर्स और डेवलपर्स शामिल हैं, जो हमारे ताइवान के ताओयुआन संयंत्र में मजबूत स्वचालन क्षमताओं के साथ निर्मित हैं।
हम अपने इन-हाउस अनुसंधान एवं विकास और लघुकरण प्रौद्योगिकी के माध्यम से स्थिर गुणवत्ता और सटीक अनुकूलन प्रदान करने पर ध्यान केंद्रित करते हैं। यह सुनिश्चित करता है कि प्रत्येक प्रणाली सख्त प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा करती है जबकि व्यावहारिक स्थायित्व, कम लागत और अंतिम उपयोगकर्ताओं के लिए उच्च दक्षता बनाए रखती है।
वैश्विक खरीदारों के लिए, M&R नैनो प्रौद्योगिकी विश्वसनीय निर्माण समर्थन प्रदान करता है जो स्रोत प्रक्रिया को सरल बनाता है। हम ग्राहकों को उनके सेमीकंडक्टर और ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक प्रक्रिया उपकरणों को उत्पादन में लाने में मदद करने के लिए प्रतिक्रियाशील संचार, कुशल स्वचालन एकीकरण और लगातार बिक्री के बाद रखरखाव प्रदान करते हैं।