Máy phơi sáng

Máy phơi sáng cho việc chuyển giao mẫu lithography, thiết bị quan trọng.

Máy phơi sáng cho việc chuyển giao mẫu lithography, thiết bị quan trọng.

Máy phơi sáng

Máy phơi sáng là một trong những thiết bị cốt lõi trong quá trình quang khắc bán dẫn, chủ yếu được sử dụng để chuyển giao các mẫu mạch từ một mặt nạ quang lên một wafer được phủ photoresist với độ chính xác cao. Nó hoạt động bằng cách sử dụng một nguồn sáng có bước sóng cụ thể và một hệ thống quang học chiếu để giảm và chiếu mẫu mặt nạ lên wafer, từ đó thay đổi các tính chất hóa học của photoresist để phát triển và hình thành mẫu sau này.


Các công cụ phơi sáng yêu cầu độ phân giải cực cao, độ chính xác căn chỉnh và sự ổn định của quy trình, với khả năng chồng chéo ở cấp độ nanomet và kiểm soát nguồn sáng chính xác. Khi công nghệ sản xuất bán dẫn tiến bộ, các công nghệ phơi sáng đã phát triển từ tia cực tím sâu (DUV) đến tia cực tím cực (EUV), khiến những công cụ này trở nên quan trọng trong việc cải thiện hiệu suất chip và năng suất sản xuất, và không thể thiếu trong sản xuất bán dẫn hiện đại.

Máy phơi sáng

  • Trưng bày:
Kết quả 1 - 4 của 4
Căn chỉnh mặt nạ thủ công - Mask Aligner thủ công của M&R có cả thiết kế để bàn và đứng.
Căn chỉnh mặt nạ thủ công

Máy căn chỉnh mặt nạ của M&R phù hợp cho các wafer từ 2” đến 6”, với...

Thông tin chi tiết
Máy căn chỉnh mặt nạ bán tự động - Máy căn chỉnh mặt nạ bán tự động
Máy căn chỉnh mặt nạ bán tự động

Máy căn chỉnh mặt nạ bán tự động là thiết bị vô giá trong các phòng...

Thông tin chi tiết
Máy căn chỉnh mặt nạ tự động - Máy căn chỉnh mặt nạ tự động
Máy căn chỉnh mặt nạ tự động

Máy căn chỉnh mặt nạ tự động là thiết bị không thể thiếu trong các...

Thông tin chi tiết
Hệ thống Hình ảnh Trực tiếp Bằng Laser (LDI) - Máy phơi LDI
Hệ thống Hình ảnh Trực tiếp Bằng Laser (LDI)

Hình ảnh trực tiếp bằng laser (LDI) là một công nghệ sử dụng ánh sáng...

Thông tin chi tiết
Kết quả 1 - 4 của 4

Máy phơi sáng | Thiết bị quy trình bán dẫn & quang điện tử tùy chỉnh NANO TECHNOLOGY M&R

M&R CÔNG NGHỆ NANO cung cấp một loạt thiết bị quy trình bán dẫn và quang điện tử tập trung cùng các hệ thống liên quan.Các danh mục chính của chúng tôi bao gồm Máy phơi sáng, Máy căn chỉnh mặt nạ, Máy phủ spin, và Máy phát triển, giúp người mua nhanh chóng xác định thiết bị phù hợp cho các ứng dụng bán dẫn, quang điện và kiểm tra.

Mỗi danh mục được lập kế hoạch dựa trên nhu cầu thực tế của thị trường về thiết bị quy trình chất lượng cao, kết hợp 25 năm kinh nghiệm sản xuất của chúng tôi với thiết kế thiết bị thực tiễn, khả năng tự động hóa và kiểm tra phòng sạch Class 1000 nghiêm ngặt. Điều này giúp cho các khách hàng trong ngành dễ dàng tìm nguồn cung cấp các hệ thống phù hợp với cả kỳ vọng chức năng và yêu cầu sản xuất lâu dài.

Bằng cách tổ chức các danh mục sản phẩm của chúng tôi xung quanh việc sử dụng chuyên nghiệp, M&R CÔNG NGHỆ NANO mang đến cho người mua một cách rõ ràng hơn để khám phá thiết bị quy trình bán dẫn & quang điện với sự hỗ trợ R&D đáng tin cậy và kế hoạch thiết bị nhất quán. Kết quả là một danh mục sản phẩm thực tế cho việc tìm nguồn, dễ hiểu và hữu ích cho các khách hàng sản xuất công nghệ cao quốc tế.