معدات النقش
تم تصنيع معدات النقش الخاصة بـ M&R باستخدام مواد مقاومة للتآكل مثل PP و PVDF و PFA، وهي مجهزة بعدة خزانات عملية، بما في ذلك خزانات QDR، خزانات المواد الكيميائية، وحدات التسخين، خزانات O.F، وخزانات HF/SC1، مما يسمح بتكوين مرن لتلبية متطلبات العمليات المختلفة.
يتضمن النظام أيضًا خزان غسيل بالماء المقطر ورشاش تجفيف N₂. يمكن تخصيص أحجام الخزانات لدعم أبعاد الرقائق المختلفة، مع أنظمة تسخين كيميائية ودورات ترشيح متاحة كخيارات.
يستخدم نظام التحكم وحدة تحكم PLC مدمجة مع واجهة الإنسان والآلة (HMI)، مما يتيح المراقبة في الوقت الحقيقي وعرض الظروف غير الطبيعية في واجهة المشغل. يمكن تكوين إدارة الوصفات والتشغيل الآلي كخيارات. لضمان السلامة التشغيلية، تم تجهيز المعدات بخزانة تحكم ذات ضغط إيجابي لمنع تآكل غاز الحمض، وحماية من تسرب الدوائر، وحماية من ارتفاع درجة الحرارة والحمولة الزائدة، وكشف تسرب القاع، واستخراج السوائل المهدرة والعوادم، وكشف مستوى السائل غير الطبيعي، ونظام EMO (إيقاف الطوارئ). نظام إطفاء حرائق CO₂ متاح أيضًا كميزة أمان اختيارية.
المواصفات
- الإطار: قشرة SUS، WPP
- نظام تزويد الحمض، والتدوير، والتصريف.
- وظيفة القفل المتداخل
- وظيفة التحكم في درجة حرارة الخزان
- وظيفة مقياس مقاومة الماء
- وظيفة آلية التجفيف
- نظام التهوية
- نظام تصريف السوائل المهدرة
تكوين
- خزان مقاوم للتآكل
- إيقاف الطوارئ MO
- كشف التسرب
- نظام انبعاث السوائل المهدرة والغازات العادمة
- تجفيف مسدس الرش N2
- FFU (وحدة مروحة الفلتر)
- إضاءة الضوء الأصفر
- أضواء تحذيرية ثلاثية الألوان
خيارات
- نظام إخماد الحرائق باستخدام CO2
- وظيفة المذبذب فوق الصوتي
- نظام الطاقة غير المنقطعة (UPS)
- نظام القضاء على الكهرباء الساكنة
- نظام إعادة تعبئة السوائل التلقائي
- بروتوكول الاتصال SECS/GEM
تطبيقات
- الصمامات الثنائية الباعثة للضوء (LEDs)
- المصابيح
- أشباه الموصلات
- أنظمة الميكروإلكتروميكانيكية (MEMS)
- المكونات السلبية
- المكونات الإلكترونية الدقيقة
معدات النقشمعدات عمليات أشباه الموصلات والأجهزة البصرية المخصصة المحترفة
تقدم شركة M&R نانو تكنولوجي معدات معالجة عالية الجودة معدات النقش وأشباه الموصلات والأجهزة البصرية المصممة لتطبيقات أشباه الموصلات المتقدمة والأجهزة البصرية والاختبار.تشمل مجموعة منتجاتنا أجهزة محاذاة القناع المفصلة، وأجهزة الطلاء الدورانية، والمطورات المصنعة في منشأتنا في تاويون، تايوان، مع قدرات أتمتة قوية.
نحن نركز على تقديم جودة مستقرة وتخصيص دقيق من خلال البحث والتطوير والتقنية المصغرة الخاصة بنا. وهذا يضمن أن كل نظام يلبي متطلبات العملية الصارمة مع الحفاظ على المتانة العملية، وانخفاض التكلفة، وارتفاع الكفاءة للمستخدمين النهائيين.
بالنسبة للمشترين العالميين، تقدم تقنية نانو M&R دعم تصنيع موثوق يبسط عملية التوريد. نحن نوفر تواصلًا سريعًا، وتكاملًا فعالًا للأتمتة، وصيانة مستمرة بعد البيع لمساعدة العملاء على إدخال معدات عمليات أشباه الموصلات والأجهزة البصرية في الإنتاج بنجاح.

