يستخدم نظام MCS عملية تنظيف فيزيائية فريدة من ثلاث مراحل، تشمل تحييد الشحنة الكهروستاتيكية، الاهتزاز فوق الصوتي المنقول عبر الهواء، وتهب الهواء بشكل دقيق باستخدام سكين هواء على شكل M تحت ضغط منخفض. يتيح هذا التصميم إزالة فعالة للجزيئات في نطاق 0.5 إلى 5 ميكرومتر، محققًا معدلات تقليل للجزيئات تصل إلى 99% مع ضمان بقاء الأغشية الحساسة وأسطح الأقنعة خالية من الإجهاد الميكانيكي أو التشوه.
 
يدعم النظام المعالجة الآلية مع التقليب الروبوتي، وتحديد الهوية بواسطة الباركود و RFID، والتواصل عبر SEMI E121، مما يسمح بالتكامل السلس مع أنظمة أتمتة المصانع ولوجستيات القناع. تجعل هذه الميزات MCS أداة أساسية لبيئات الطباعة الحجرية المتقدمة، بما في ذلك عمليات EUV و ArF و KrF، حيث تؤثر النظافة بشكل مباشر على العائد، وعمر القناع، وموثوقية التصنيع.

المواصفات

• هيكل الوحدة الرئيسية: إطار من الفولاذ عالي القوة/سبائك الألمنيوم
• سكين الهواء: سبيكة معدنية مقاومة للاهتراء أو سبيكة ألومنيوم عالية الجودة
• قناة تدفق الهواء والفوهة: معدن مشغول بدقة عالية
• وحدة التحكم واللوحة: مكونات إلكترونية صناعية و لوحة
• آلية النقل: سيرفو عالي الموثوقية أو محرك هوائي

تكوين

• الآلة الرئيسية: تشمل وحدة سكين الهواء ودائرة الهواء المحرك
• نظام التحكم: PLC/لوحة لمس، إعداد المعلمات تلقائيًا
• واجهة مصدر الهواء: إمداد الهواء المضغوط وأنابيب التوصيل
• معدات السلامة/الحماية: إيقاف الطوارئ، درع الأمان، المستشعرات
• إطار الدعم/القاعدة: يمكن دمجه مع خطوط الإنتاج أو معدات النقل
• واجهة مراقبة البيانات: تعرض حالة التشغيل وإحصائيات إزالة الغبار

خيارات

• منصة تحديد المواقع عالية الدقة (مدمجة ديناميكياً مع خط الإنتاج)
• معدات اختبار حجم الجسيمات
• مختلف فوهات سكين الهواء/وحدات الأسطوانة
• واجهة التغذية/التفريغ التلقائية لخط الإنتاج
• نظام مراقبة النظافة
• نظام جمع الغبار بالفراغ أو أنابيب الانبعاث المتكاملة

تطبيقات

• تنظيف وإزالة الغبار من قناع الفوتون شبه الموصل (أقنعة فوتونية من نوع EUV و ArF و KrF)
• تنظيف دقيق لسطح الرقاقة (MSP، تعريض الرقاقة)
• عمليات التصنيع عالية النظافة: مثل عمليات الإلكترونيات الضوئية، تصنيع العدسات الدقيقة
• معالجة المكونات البصرية: مثل شاشات العرض المسطحة، الزجاج البصري
• بيئات التصنيع الدقيقة: أي بيئة تتطلب إزالة الغبار بدون تلامس