อุปกรณ์การแกะสลัก
อุปกรณ์การแกะสลักของ M&R ผลิตจากวัสดุต้านการกัดกร่อน เช่น PP, PVDF และ PFA และถูกกำหนดค่าให้มีถังการประมวลผลหลายถัง รวมถึงถัง QDR, ถังเคมี, โมดูลความร้อน, ถัง O.F และถัง HF/SC1 ซึ่งช่วยให้สามารถกำหนดค่าได้อย่างยืดหยุ่นเพื่อตอบสนองความต้องการของกระบวนการที่แตกต่างกัน.
ระบบยังรวมถึงถังล้างน้ำ DI และปืนพ่นแห้ง N₂ ขนาดถังสามารถปรับแต่งได้เพื่อตอบสนองขนาดเวเฟอร์ที่หลากหลาย โดยมีระบบทำความร้อนด้วยสารเคมีและระบบกรองหมุนเวียนเป็นตัวเลือกเพิ่มเติม.
ระบบควบคุมใช้ตัวควบคุม PLC ร่วมกับ HMI (ส่วนติดต่อระหว่างมนุษย์กับเครื่องจักร) ซึ่งช่วยให้สามารถตรวจสอบและแสดงสถานะที่ผิดปกติได้แบบเรียลไทม์ที่ส่วนติดต่อของผู้ปฏิบัติงาน. การจัดการสูตรและการดำเนินการอัตโนมัติสามารถตั้งค่าเป็นตัวเลือกได้. เพื่อให้แน่ใจในความปลอดภัยในการปฏิบัติงาน อุปกรณ์จึงติดตั้งตู้ควบคุมความดันบวกเพื่อป้องกันการกัดกร่อนจากก๊าซกรด การป้องกันการรั่วไหล การป้องกันอุณหภูมิสูงเกินไปและการโหลดเกิน การตรวจจับการรั่วไหลที่ด้านล่าง การดึงของเหลวเสียและไอเสีย การตรวจจับระดับของเหลวที่ผิดปกติ และระบบ EMO (Emergency Off) ระบบดับเพลิง CO₂ ยังมีให้เป็นฟีเจอร์ความปลอดภัยเสริมอีกด้วย.
ข้อมูลจำเพาะ
- กรอบ: เปลือก SUS, WPP
- ระบบจ่ายกรด, การหมุนเวียน, และการระบายน้ำ.
- ฟังก์ชันล็อคอินเตอร์ล็อค
- ฟังก์ชันควบคุมอุณหภูมิถัง
- ฟังก์ชันมิเตอร์กันน้ำ
- ฟังก์ชันกลไกการอบแห้ง
- ระบบระบายอากาศ
- ระบบระบายน้ำเสีย
การกำหนดค่า
- ถังทนการกัดกร่อน
- หยุด MO ฉุกเฉิน
- การตรวจจับการรั่วไหล
- ระบบปล่อยของเสียและก๊าซไอเสีย
- การอบแห้งด้วยปืนพ่น N2
- FFU (หน่วยกรองพัดลม)
- การส่องสว่างด้วยแสงสีเหลือง
- ไฟเตือนสามสี
ตัวเลือก
- ระบบดับเพลิง CO2
- ฟังก์ชันออสซิลเลเตอร์อัลตราโซนิก
- ระบบจ่ายไฟสำรอง UPS
- ระบบกำจัดไฟฟ้าสถิต
- ระบบเติมของเหลออัตโนมัติ
- โปรโตคอลการสื่อสาร SECS/GEM
แอปพลิเคชัน
- ไดโอดเปล่งแสง (LED)
- LED
- เซมิคอนดักเตอร์
- ระบบไมโครอิเล็กโทรกลศาสตร์ (MEMS)
- ส่วนประกอบแบบพาสซีฟ
- ส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ที่มีความแม่นยำ
อุปกรณ์การแกะสลักอุปกรณ์กระบวนการเซมิคอนดักเตอร์และออปโตอิเล็กทรอนิกส์ที่ปรับแต่งได้อย่างมืออาชีพ
M&R NANO TECHNOLOGY ให้บริการอุปกรณ์กระบวนการเซมิคอนดักเตอร์และออปโตอิเล็กทรอนิกส์คุณภาพสูง อุปกรณ์การแกะสลัก ที่ออกแบบมาสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ และการทดสอบแอปพลิเคชันต่างๆ.สายผลิตภัณฑ์ของเราประกอบด้วยเครื่องจัดตำแหน่งหน้ากากที่มีรายละเอียด, เครื่องเคลือบแบบหมุน, และเครื่องพัฒนา ที่ผลิตในโรงงานของเราในเมืองเต๋าหยวน, ไต้หวัน ซึ่งมีความสามารถในการทำงานอัตโนมัติที่แข็งแกร่ง.
เรามุ่งเน้นการส่งมอบคุณภาพที่มั่นคงและการปรับแต่งที่แม่นยำผ่านการวิจัยและพัฒนาภายในและเทคโนโลยีการทำให้เล็กลง ซึ่งทำให้มั่นใจได้ว่าระบบแต่ละระบบจะต้องเป็นไปตามข้อกำหนดกระบวนการที่เข้มงวดในขณะที่ยังคงความทนทานที่ใช้งานได้จริง ต้นทุนต่ำ และประสิทธิภาพสูงสำหรับผู้ใช้ปลายทาง.
สำหรับผู้ซื้อทั่วโลก, M&R NANO TECHNOLOGY มีการสนับสนุนการผลิตที่เชื่อถือได้ซึ่งทำให้กระบวนการจัดหาง่ายขึ้น เรามีการสื่อสารที่ตอบสนองได้ดี, การบูรณาการระบบอัตโนมัติที่มีประสิทธิภาพ, และการบำรุงรักษาหลังการขายที่สม่ำเสมอเพื่อช่วยให้ลูกค้านำอุปกรณ์กระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ & ออปโตอิเล็กทรอนิกส์เข้าสู่การผลิตได้สำเร็จ.

