Kagamitan sa Etching | M&R NANO TECHNOLOGY Semiconductor & Optoelectronic Process Equipment
Ang kagamitan sa pag-ukit ng M&R ay gawa sa mga materyales na lumalaban sa kaagnasan tulad ng PP, PVDF, at PFA, at naka-configure na may maraming tangke ng proseso, kabilang ang mga tangke ng QDR, mga tangke ng kemikal, mga module ng pag-init, mga tangke ng O.F, at mga tangke ng HF/SC1, na nagbibigay-daan sa nababaluktot na pagsasaayos upang matugunan ang iba't ibang kinakailangan sa proseso.
Kasama sa sistema ang isang tangke ng paghuhugas ng DI na tubig at isang N₂ na spray gun para sa pagpapatuyo. Ang mga sukat ng tangke ay maaaring i-customize upang suportahan ang iba't ibang sukat ng wafer, na may mga opsyonal na sistema ng pag-init ng kemikal at sirkulasyon ng pagsasala.
Ang sistema ng kontrol ay gumagamit ng PLC controller na pinagsama sa HMI (Human-Machine Interface), na nagpapahintulot sa real-time na pagmamanman at pagpapakita ng mga abnormal na kondisyon sa interface ng operator. Ang pamamahala ng resipe at awtomatikong operasyon ay maaaring i-configure bilang mga pagpipilian. Upang matiyak ang kaligtasan sa operasyon, ang kagamitan ay nilagyan ng isang positive-pressure control cabinet upang maiwasan ang kaagnasan ng acid gas, proteksyon sa pagtagas ng circuit, proteksyon laban sa sobrang temperatura at labis na karga, pagtuklas ng pagtagas sa ilalim, pagkuha ng basura at usok, pagtuklas ng abnormal na antas ng likido, at isang EMO (Emergency Off) system. Ang isang CO₂ na sistema ng pag-apula ng apoy ay magagamit din bilang isang opsyonal na tampok sa kaligtasan.Piliin ang M&R NANO TECHNOLOGY para sa de-kalidad na kagamitan sa proseso ng semiconductor at optoelectronic at maaasahang customized na pagmamanupaktura.
Kagamitan sa Etching
Ang kagamitan sa pag-ukit ng M&R ay gawa sa mga materyales na lumalaban sa kaagnasan tulad ng PP, PVDF, at PFA, at naka-configure na may maraming tangke ng proseso, kabilang ang mga tangke ng QDR, mga tangke ng kemikal, mga module ng pag-init, mga tangke ng O.F, at mga tangke ng HF/SC1, na nagbibigay-daan sa nababaluktot na pagsasaayos upang matugunan ang iba't ibang kinakailangan sa proseso.
Kasama sa sistema ang isang tangke ng paghuhugas ng DI na tubig at isang N₂ na spray gun para sa pagpapatuyo. Ang mga sukat ng tangke ay maaaring i-customize upang suportahan ang iba't ibang sukat ng wafer, na may mga opsyonal na sistema ng pag-init ng kemikal at sirkulasyon ng pagsasala.
Ang sistema ng kontrol ay gumagamit ng PLC controller na pinagsama sa HMI (Human-Machine Interface), na nagpapahintulot sa real-time na pagmamanman at pagpapakita ng mga abnormal na kondisyon sa interface ng operator. Ang pamamahala ng resipe at awtomatikong operasyon ay maaaring i-configure bilang mga pagpipilian. Upang matiyak ang kaligtasan sa operasyon, ang kagamitan ay nilagyan ng isang positive-pressure control cabinet upang maiwasan ang kaagnasan ng acid gas, proteksyon sa pagtagas ng circuit, proteksyon laban sa sobrang temperatura at labis na karga, pagtuklas ng pagtagas sa ilalim, pagkuha ng basura at usok, pagtuklas ng abnormal na antas ng likido, at isang EMO (Emergency Off) system. Ang isang CO₂ na sistema ng pag-apula ng apoy ay magagamit din bilang isang opsyonal na tampok sa kaligtasan.
Mga Espesipikasyon
- Frame: SUS shell, WPP
- Sistema ng suplay ng acid, sirkulasyon, at drainage.
- Interlock function
- Pagsasaayos ng temperatura ng tangke
- Tungkulin ng water resistance meter
- Tungkulin ng drying mechanism
- Sistema ng bentilasyon
- Sistema ng paglabas ng basurang likido
Konfigurasyon
- Tangke na lumalaban sa kaagnasan
- Pansamantalang paghinto ng MO
- Pagtuklas ng tagas
- Sistema ng paglabas ng basura at gas ng tambutso
- Pagpapatuyo ng N2 spray gun
- FFU (Fan Filter Unit)
- Ilaw na dilaw
- Tri-color na mga ilaw ng babala
Mga Opsyon
- Sistema ng pagsugpo sa apoy ng CO2
- Function ng ultrasonic oscillator
- Sistema ng UPS na hindi napuputol na suplay ng kuryente
- Sistema ng pag-aalis ng static na kuryente
- Sistema ng awtomatikong pagdagdag ng likido
- SECS/GEM na protocol ng komunikasyon
Mga Aplikasyon
- Mga light-emitting diode (LED)
- LED
- Mga semiconductor
- Mga micro-electromechanical system (MEMS)
- Mga passive na bahagi
- Mga precision na elektronikong bahagi
I-download Mainit na Produkto
Kagamitan sa EtchingPropesyonal na Custom na Semiconductor at Optoelectronic na Kagamitan sa Proseso
M&R NANO TECHNOLOGY ay nagbibigay ng mataas na kalidad na Kagamitan sa Etching at kagamitan sa proseso ng semiconductor at optoelectronic na dinisenyo para sa mga advanced na semiconductor, optoelectronic, at mga aplikasyon sa pagsubok.Ang aming linya ng produkto ay kinabibilangan ng detalyadong Mask Aligners, Spin Coaters, at Developers na ginawa sa aming pasilidad sa Taoyuan, Taiwan na may malakas na kakayahan sa awtomasyon.
Nakatuon kami sa paghahatid ng matatag na kalidad at tumpak na pag-customize sa pamamagitan ng aming in-house na R&D at teknolohiya ng miniaturization. Tinitiyak nito na ang bawat sistema ay nakakatugon sa mahigpit na mga kinakailangan sa proseso habang pinapanatili ang praktikal na tibay, mababang gastos, at mataas na kahusayan para sa mga end-user.
Para sa mga pandaigdigang mamimili, M&R NANO TECHNOLOGY ay nag-aalok ng maaasahang suporta sa pagmamanupaktura na nagpapadali sa proseso ng pagkuha. Nagbibigay kami ng tumutugon na komunikasyon, mahusay na integrasyon ng awtomasyon, at pare-parehong pagpapanatili pagkatapos ng benta upang matulungan ang mga customer na matagumpay na ilunsad ang kanilang kagamitan sa proseso ng semiconductor & optoelectronic sa produksyon.