Peralatan Etsa | M&R TEKNOLOGI NANO Peralatan Proses Semikonduktor & Optoelektronik
Peralatan etsa M&R diproduksi menggunakan bahan tahan korosi seperti PP, PVDF, dan PFA, dan dikonfigurasi dengan beberapa tangki proses, termasuk tangki QDR, tangki kimia, modul pemanas, tangki O.F, dan tangki HF/SC1, memungkinkan konfigurasi yang fleksibel untuk memenuhi berbagai kebutuhan proses.
Sistem ini juga dilengkapi dengan tangki pencucian air DI dan pistol semprot pengering N₂. Ukuran tangki dapat disesuaikan untuk mendukung berbagai dimensi wafer, dengan sistem pemanasan kimia dan filtrasi sirkulasi opsional yang tersedia.
Sistem kontrol menggunakan pengendali PLC yang dipadukan dengan HMI (Antarmuka Manusia-Mesin), memungkinkan pemantauan dan tampilan kondisi abnormal secara real-time di antarmuka operator. Manajemen resep dan operasi otomatis dapat dikonfigurasi sebagai opsi. Untuk memastikan keselamatan operasional, peralatan dilengkapi dengan kabinet kontrol tekanan positif untuk mencegah korosi gas asam, perlindungan sirkuit kebocoran, perlindungan suhu berlebih dan beban berlebih, deteksi kebocoran di bagian bawah, ekstraksi limbah cair dan gas buang, deteksi level cairan yang tidak normal, dan sistem EMO (Emergency Off). Sistem pemadam kebakaran CO₂ juga tersedia sebagai fitur keselamatan opsional.Pilih M&R NANO TECHNOLOGY untuk peralatan proses semikonduktor & optoelektronik berkualitas tinggi dan manufaktur kustom yang dapat diandalkan.
Peralatan Etsa
Peralatan etsa M&R diproduksi menggunakan bahan tahan korosi seperti PP, PVDF, dan PFA, dan dikonfigurasi dengan beberapa tangki proses, termasuk tangki QDR, tangki kimia, modul pemanas, tangki O.F, dan tangki HF/SC1, memungkinkan konfigurasi yang fleksibel untuk memenuhi berbagai kebutuhan proses.
Sistem ini juga dilengkapi dengan tangki pencucian air DI dan pistol semprot pengering N₂. Ukuran tangki dapat disesuaikan untuk mendukung berbagai dimensi wafer, dengan sistem pemanasan kimia dan filtrasi sirkulasi opsional yang tersedia.
Sistem kontrol menggunakan pengendali PLC yang dipadukan dengan HMI (Antarmuka Manusia-Mesin), memungkinkan pemantauan dan tampilan kondisi abnormal secara real-time di antarmuka operator. Manajemen resep dan operasi otomatis dapat dikonfigurasi sebagai opsi. Untuk memastikan keselamatan operasional, peralatan dilengkapi dengan kabinet kontrol tekanan positif untuk mencegah korosi gas asam, perlindungan sirkuit kebocoran, perlindungan suhu berlebih dan beban berlebih, deteksi kebocoran di bagian bawah, ekstraksi limbah cair dan gas buang, deteksi level cairan yang tidak normal, dan sistem EMO (Emergency Off). Sistem pemadam kebakaran CO₂ juga tersedia sebagai fitur keselamatan opsional.
Spesifikasi
- Bingkai: Cangkang SUS, WPP
- Sistem pasokan asam, sirkulasi, dan pembuangan.
- Fungsi interlock
- Fungsi kontrol suhu tangki
- Fungsi meter ketahanan air
- Fungsi mekanisme pengeringan
- Sistem ventilasi
- Sistem pembuangan cairan limbah
Konfigurasi
- Tangki tahan korosi
- Henti darurat MO
- Deteksi kebocoran
- Sistem emisi cairan limbah dan gas buang
- Pengeringan pistol semprot N2
- FFU (Unit Filter Kipas)
- Penerangan lampu kuning
- Lampu peringatan tiga warna
Opsi
- Sistem pemadam kebakaran CO2
- Fungsi osilator ultrasonik
- Sistem catu daya tak terputus (UPS)
- Sistem eliminasi listrik statis
- Sistem pengisian cairan otomatis
- Protokol komunikasi SECS/GEM
Aplikasi
- Dioda pemancar cahaya (LED)
- LED
- Semikonduktor
- Sistem mikro-elektromekanik (MEMS)
- Komponen pasif
- Komponen elektronik presisi
Unduh Produk Terlaris
Peralatan EtsaPeralatan Proses Semikonduktor & Optoelektronik Kustom Profesional
M&R NANO TECHNOLOGY menyediakan Peralatan Etsa berkualitas tinggi dan peralatan proses semikonduktor & optoelektronik yang dirancang untuk aplikasi semikonduktor, optoelektronik, dan pengujian yang canggih.Rangkaian produk kami mencakup Mask Aligners, Spin Coaters, dan Developers yang diproduksi di fasilitas kami di Taoyuan, Taiwan dengan kemampuan otomatisasi yang kuat.
Kami fokus pada penyampaian kualitas yang stabil dan kustomisasi yang tepat melalui R&D internal dan teknologi miniaturisasi kami. Ini memastikan bahwa setiap sistem memenuhi persyaratan proses yang ketat sambil mempertahankan daya tahan praktis, biaya rendah, dan efisiensi tinggi untuk pengguna akhir.
Untuk pembeli global, M&R NANO TECHNOLOGY menawarkan dukungan manufaktur yang dapat diandalkan yang menyederhanakan proses pengadaan. Kami menyediakan komunikasi yang responsif, integrasi otomatisasi yang efisien, dan pemeliharaan purna jual yang konsisten untuk membantu pelanggan berhasil membawa peralatan proses semikonduktor & optoelektronik mereka ke dalam produksi.