蝕刻設備

科毅蝕刻設備使用抗腐蝕的材質製造(PP/PVDF/PFA….等)，配有多個槽體(1. QDR Tank、2. 藥液TANK、3. 加熱機構、4. O.F TANK、5. HF/SC1. TANK)讓客戶可以依不同製程靈活搭配並且有DI Water清洗槽以及N2乾燥噴槍，同時槽體也可配合客戶支援不同尺寸的晶圓以及選配藥液加熱和循環過濾系統。控制部分採用PLC控制器搭配HMI人機介面可於作業面即時顯示異常狀態，可選配Recipe設定與自動化操作，同時為了確保安全，設備內配有控制箱內保持正壓以防酸氣腐蝕、漏電斷路保護裝置、過溫過載保護裝置、機台底部漏液檢知、廢液廢氣抽排、液位異常檢知、EMO裝置 ，如有需要還可以選配CO2滅火裝置等。