Équipement de gravure | M&R ÉQUIPEMENT DE PROCESSUS SEMI-CONDUCTEUR & OPTOÉLECTRONIQUE NANO TECHNOLOGY

L'équipement de gravure de M&R est fabriqué à partir de matériaux résistants à la corrosion tels que le PP, le PVDF et le PFA, et est configuré avec plusieurs cuves de traitement, y compris des cuves QDR, des cuves chimiques, des modules de chauffage, des cuves O.F et des cuves HF/SC1, permettant une configuration flexible pour répondre à différentes exigences de traitement.
Le système comprend également un réservoir de rinçage à l'eau DI et un pistolet de pulvérisation à séchage à l'azote (N₂). Les tailles de réservoir peuvent être personnalisées pour s'adapter à différentes dimensions de plaquettes, avec des systèmes de chauffage chimique et de filtration en circulation en option.
Le système de contrôle utilise un contrôleur PLC combiné à une IHM (Interface Homme-Machine), permettant la surveillance en temps réel et l'affichage des conditions anormales à l'interface de l'opérateur. La gestion des recettes et l'opération automatisée peuvent être configurées en tant qu'options. Pour garantir la sécurité opérationnelle, l'équipement est équipé d'un armoire de contrôle à pression positive pour prévenir la corrosion par les gaz acides, la protection contre les fuites de circuit, la protection contre la surchauffe et la surcharge, la détection de fuites au fond, l'extraction des liquides usés et des gaz d'échappement, la détection de niveaux de liquide anormaux, et un système EMO (Arrêt d'urgence). Un système d'extinction d'incendie au CO₂ est également disponible en tant que caractéristique de sécurité optionnelle.Choisissez M&R NANO TECHNOLOGY pour des équipements de processus semi-conducteurs et optoélectroniques de haute qualité et une fabrication personnalisée fiable.