Equipo de grabado | M&R TECNOLOGÍA NANO Equipos de Proceso Semiconductores & Optoelectrónicos
El equipo de grabado de M&R se fabrica utilizando materiales resistentes a la corrosión como PP, PVDF y PFA, y está configurado con múltiples tanques de proceso, incluidos tanques QDR, tanques químicos, módulos de calefacción, tanques O.F y tanques HF/SC1, lo que permite una configuración flexible para satisfacer diferentes requisitos de proceso.
El sistema también incluye un tanque de enjuague con agua DI y una pistola de secado con N₂. Los tamaños de los tanques se pueden personalizar para soportar diversas dimensiones de obleas, con sistemas de calefacción química y filtración de circulación opcionales disponibles.
El sistema de control utiliza un controlador PLC combinado con una HMI (Interfaz Hombre-Máquina), lo que permite la supervisión y visualización en tiempo real de condiciones anormales en la interfaz del operador. La gestión de recetas y la operación automatizada se pueden configurar como opciones. Para garantizar la seguridad operativa, el equipo está equipado con un armario de control de presión positiva para prevenir la corrosión por gases ácidos, protección contra fugas en el circuito, protección contra sobretemperatura y sobrecarga, detección de fugas en la parte inferior, extracción de líquidos residuales y gases de escape, detección de niveles anormales de líquido y un sistema EMO (Apagado de Emergencia). Un sistema de extinción de incendios con CO₂ también está disponible como una característica de seguridad opcional.Elija M&R NANO TECHNOLOGY para equipos de proceso de semiconductores y optoelectrónicos de alta calidad y fabricación personalizada confiable.
Equipo de grabado
El equipo de grabado de M&R se fabrica utilizando materiales resistentes a la corrosión como PP, PVDF y PFA, y está configurado con múltiples tanques de proceso, incluidos tanques QDR, tanques químicos, módulos de calefacción, tanques O.F y tanques HF/SC1, lo que permite una configuración flexible para satisfacer diferentes requisitos de proceso.
El sistema también incluye un tanque de enjuague con agua DI y una pistola de secado con N₂. Los tamaños de los tanques se pueden personalizar para soportar diversas dimensiones de obleas, con sistemas de calefacción química y filtración de circulación opcionales disponibles.
El sistema de control utiliza un controlador PLC combinado con una HMI (Interfaz Hombre-Máquina), lo que permite la supervisión y visualización en tiempo real de condiciones anormales en la interfaz del operador. La gestión de recetas y la operación automatizada se pueden configurar como opciones. Para garantizar la seguridad operativa, el equipo está equipado con un armario de control de presión positiva para prevenir la corrosión por gases ácidos, protección contra fugas en el circuito, protección contra sobretemperatura y sobrecarga, detección de fugas en la parte inferior, extracción de líquidos residuales y gases de escape, detección de niveles anormales de líquido y un sistema EMO (Apagado de Emergencia). Un sistema de extinción de incendios con CO₂ también está disponible como una característica de seguridad opcional.
Especificaciones
- Marco: carcasa SUS, WPP
- Sistema de suministro, circulación y drenaje de ácido.
- Función de interbloqueo
- Función de control de temperatura del tanque
- Función de medidor de resistencia al agua
- Función del mecanismo de secado
- Sistema de ventilación
- Sistema de descarga de líquidos residuales
Configuración
- Tanque resistente a la corrosión
- Parada de emergencia MO
- Detección de fugas
- Sistema de emisión de líquidos residuales y gases de escape
- Secado con pistola de pulverización N2
- FFU (Unidad de Filtro de Ventilador)
- Iluminación de luz amarilla
- Luces de advertencia tricolores
Opciones
- Sistema de supresión de incendios por CO2
- Función de oscilador ultrasónico
- Sistema de alimentación ininterrumpida (UPS)
- Sistema de eliminación de electricidad estática
- Sistema de reposición automática de líquidos
- Protocolo de comunicación SECS/GEM
Aplicaciones
- Diodos emisores de luz (LED)
- LED
- Semiconductores
- Sistemas microelectromecánicos (MEMS)
- Componentes pasivos
- Componentes electrónicos de precisión
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M&R NANO TECHNOLOGY proporciona Equipo de grabado de alta calidad y equipos de proceso de semiconductores y optoelectrónica diseñados para aplicaciones avanzadas de semiconductores, optoelectrónica y pruebas.Nuestra línea de productos incluye alineadores de máscara detallados, recubridores por centrifugación y reveladores fabricados en nuestra instalación de Taoyuan, Taiwán, con fuertes capacidades de automatización.
Nos enfocamos en ofrecer calidad estable y personalización precisa a través de nuestra I+D interna y tecnología de miniaturización. Esto asegura que cada sistema cumpla con estrictos requisitos de proceso mientras mantiene durabilidad práctica, bajo costo y alta eficiencia para los usuarios finales.
Para compradores globales, M&R NANO TECHNOLOGY ofrece un soporte de fabricación confiable que simplifica el proceso de abastecimiento. Proporcionamos comunicación receptiva, integración de automatización eficiente y mantenimiento postventa consistente para ayudar a los clientes a llevar con éxito su equipo de proceso de semiconductores & optoelectrónica a la producción.