Peralatan Ukiran | M&R TEKNOLOGI NANO Peralatan Proses Semikonduktor & Optoelektronik
Peralatan ukiran M&R dihasilkan menggunakan bahan tahan karat seperti PP, PVDF, dan PFA, dan dikonfigurasikan dengan pelbagai tangki proses, termasuk tangki QDR, tangki kimia, modul pemanasan, tangki O.F, dan tangki HF/SC1, membolehkan konfigurasi yang fleksibel untuk memenuhi keperluan proses yang berbeza.
Sistem ini juga termasuk tangki pencucian air DI dan pistol semburan pengeringan N₂. Saiz tangki boleh disesuaikan untuk menyokong pelbagai dimensi wafer, dengan sistem pemanasan kimia dan penapisan peredaran pilihan yang tersedia.
Sistem kawalan menggunakan pengawal PLC yang digabungkan dengan HMI (Antara Muka Manusia-Mesin), membolehkan pemantauan dan paparan masa nyata bagi keadaan tidak normal di antara muka pengendali. Pengurusan resipi dan operasi automatik boleh dikonfigurasikan sebagai pilihan. Untuk memastikan keselamatan operasi, peralatan dilengkapi dengan kabinet kawalan tekanan positif untuk mencegah kakisan gas asid, perlindungan litar bocor, perlindungan suhu berlebihan dan beban berlebihan, pengesanan kebocoran bawah, pengekstrakan cecair sisa dan gas ekzos, pengesanan tahap cecair yang tidak normal, dan sistem EMO (Emergency Off). Sistem pemadam kebakaran CO₂ juga tersedia sebagai ciri keselamatan pilihan.Pilih M&R NANO TEKNOLOGI untuk peralatan proses semikonduktor & optoelektronik berkualiti tinggi dan pembuatan tersuai yang boleh dipercayai.
Peralatan Ukiran
Peralatan ukiran M&R dihasilkan menggunakan bahan tahan karat seperti PP, PVDF, dan PFA, dan dikonfigurasikan dengan pelbagai tangki proses, termasuk tangki QDR, tangki kimia, modul pemanasan, tangki O.F, dan tangki HF/SC1, membolehkan konfigurasi yang fleksibel untuk memenuhi keperluan proses yang berbeza.
Sistem ini juga termasuk tangki pencucian air DI dan pistol semburan pengeringan N₂. Saiz tangki boleh disesuaikan untuk menyokong pelbagai dimensi wafer, dengan sistem pemanasan kimia dan penapisan peredaran pilihan yang tersedia.
Sistem kawalan menggunakan pengawal PLC yang digabungkan dengan HMI (Antara Muka Manusia-Mesin), membolehkan pemantauan dan paparan masa nyata bagi keadaan tidak normal di antara muka pengendali. Pengurusan resipi dan operasi automatik boleh dikonfigurasikan sebagai pilihan. Untuk memastikan keselamatan operasi, peralatan dilengkapi dengan kabinet kawalan tekanan positif untuk mencegah kakisan gas asid, perlindungan litar bocor, perlindungan suhu berlebihan dan beban berlebihan, pengesanan kebocoran bawah, pengekstrakan cecair sisa dan gas ekzos, pengesanan tahap cecair yang tidak normal, dan sistem EMO (Emergency Off). Sistem pemadam kebakaran CO₂ juga tersedia sebagai ciri keselamatan pilihan.
Spesifikasi
- Bingkai: cangkerang SUS, WPP
- Sistem bekalan asid, peredaran, dan pengaliran.
- Fungsi kunci interlock
- Fungsi kawalan suhu tangki
- Fungsi meter ketahanan air
- Fungsi mekanisme pengeringan
- Sistem pengudaraan
- Sistem pembuangan cecair sisa
Konfigurasi
- Tangki tahan kakisan
- Henti MO kecemasan
- Pengesanan kebocoran
- Sistem pelepasan cecair sisa dan gas ekzos
- Pengeringan pistol semburan N2
- FFU (Unit Penapis Kipas)
- Pencahayaan lampu kuning
- Lampu amaran tiga warna
Pilihan
- Sistem pemadam kebakaran CO2
- Fungsi osilator ultrasonik
- Sistem bekalan kuasa tidak terputus (UPS)
- Sistem penghapusan elektrik statik
- Sistem pengisian cecair automatik
- Protokol komunikasi SECS/GEM
Aplikasi
- Diod pemancar cahaya (LED)
- LED
- Separuh penebat
- Sistem mikro-elektromekanikal (MEMS)
- Komponen pasif
- Komponen elektronik ketepatan
Download Produk Panas
Peralatan UkiranPeralatan Proses Semikonduktor & Optoelektronik Kustom Profesional
M&R NANO TECHNOLOGY menyediakan Peralatan Ukiran berkualiti tinggi dan peralatan proses semikonduktor & optoelektronik yang direka untuk aplikasi semikonduktor, optoelektronik, dan pengujian yang maju.Barisan produk kami termasuk Penjajar Masker terperinci, Pelapis Putar, dan Pembangun yang dihasilkan di kemudahan kami di Taoyuan, Taiwan dengan keupayaan automasi yang kuat.
Kami memberi tumpuan kepada penyampaian kualiti yang stabil dan penyesuaian yang tepat melalui R&D dalaman dan teknologi miniaturisasi kami. Ini memastikan bahawa setiap sistem memenuhi keperluan proses yang ketat sambil mengekalkan ketahanan praktikal, kos rendah, dan kecekapan tinggi untuk pengguna akhir.
Untuk pembeli global, M&R NANO TECHNOLOGY menawarkan sokongan pembuatan yang boleh dipercayai yang memudahkan proses pengambilan sumber. Kami menyediakan komunikasi yang responsif, integrasi automasi yang cekap, dan penyelenggaraan selepas jualan yang konsisten untuk membantu pelanggan membawa peralatan proses semikonduktor & optoelektronik mereka ke dalam pengeluaran dengan jayanya.