本壓力傳感器採用不鏽鋼外殼結構，核心感測元件為高靈敏度 MEMS 晶片，兼具快速反應與長時間量測穩定性，能在嚴苛製程環境下持續提供可靠數據。標準模組具備寬廣的量測範圍（-100 kPa 至 1 MPa），精度最高可達 ±0.25%FS（全量程），並支援多種輸出訊號格式，方便整合至不同曝光機控制系統。依實際需求，亦可提供不同量測範圍版本與防爆型等選配方案，以滿足各類設備與安全規範。整體而言，科毅的壓力傳感器以高精度、高穩定性與高度相容性，成為保障曝光製程穩定運作的關鍵感測元件。