Sensor Tekanan

Sensor tekanan

Sensor Tekanan - Sensor tekanan
  • Sensor Tekanan - Sensor tekanan

Sensor Tekanan

M&R menyediakan sensor tekanan berketepatan tinggi yang direka khusus untuk sistem pendedahan, berfungsi sebagai komponen kritikal untuk memantau ruang vakum dan persekitaran pneumatik dalam peralatan litografi. Dengan terus mengukur tekanan ruang dengan ketepatan tinggi, sensor ini membantu mengekalkan keadaan pendedahan yang stabil dan secara efektif mencegah kecacatan proses yang disebabkan oleh fluktuasi tekanan. Ia memainkan peranan penting dalam memastikan kualiti pengimejan, konsistensi lebar garis, dan kestabilan keseluruhan proses dalam aplikasi fotolitografi.

Ciri-ciri Teknikal dan Kelebihan Integrasi

Sensor tekanan ini mempunyai badan keluli tahan karat untuk ketahanan dan mengandungi elemen pengesanan MEMS berkepekaan tinggi, memberikan respons pantas dan kestabilan pengukuran jangka panjang dalam keadaan proses yang mencabar. Modul standard menyokong julat pengukuran yang luas dari -100 kPa hingga 1 MPa, dengan ketepatan sehingga ±0.25% FS (skala penuh). Pelbagai pilihan isyarat output tersedia untuk membolehkan integrasi yang lancar dengan pelbagai sistem kawalan alat pendedahan. Konfigurasi pilihan, termasuk julat tekanan yang berbeza dan versi tahan letupan, boleh disediakan untuk memenuhi keperluan peralatan dan keselamatan tertentu. Dengan ketepatan tinggi, kestabilan, dan kesesuaian, sensor tekanan M&R adalah komponen pengesanan utama untuk mengekalkan proses pendedahan yang stabil dan hasil pengeluaran yang tinggi.


Sensor TekananPeralatan Proses Semikonduktor & Optoelektronik Kustom Profesional

M&R NANO TECHNOLOGY menyediakan Sensor Tekanan berkualiti tinggi dan peralatan proses semikonduktor & optoelektronik yang direka untuk aplikasi semikonduktor, optoelektronik, dan pengujian yang maju.Barisan produk kami termasuk Penjajar Masker terperinci, Pelapis Putar, dan Pembangun yang dihasilkan di kemudahan kami di Taoyuan, Taiwan dengan keupayaan automasi yang kuat.

Kami memberi tumpuan kepada penyampaian kualiti yang stabil dan penyesuaian yang tepat melalui R&D dalaman dan teknologi miniaturisasi kami. Ini memastikan bahawa setiap sistem memenuhi keperluan proses yang ketat sambil mengekalkan ketahanan praktikal, kos rendah, dan kecekapan tinggi untuk pengguna akhir.

Untuk pembeli global, M&R NANO TECHNOLOGY menawarkan sokongan pembuatan yang boleh dipercayai yang memudahkan proses pengambilan sumber. Kami menyediakan komunikasi yang responsif, integrasi automasi yang cekap, dan penyelenggaraan selepas jualan yang konsisten untuk membantu pelanggan membawa peralatan proses semikonduktor & optoelektronik mereka ke dalam pengeluaran dengan jayanya.