Sensor ng Presyon | M&R NANO TECHNOLOGY Semiconductor & Optoelectronic Process Equipment
M&R ay nagbibigay ng mataas na katumpakan na mga pressure sensor na dinisenyo partikular para sa mga exposure system, na nagsisilbing mga kritikal na bahagi para sa pagmamanman ng vacuum chambers at pneumatic environments sa loob ng lithography equipment. Sa pamamagitan ng patuloy na pagsukat ng pressure ng silid na may mataas na katumpakan, ang sensor ay tumutulong na mapanatili ang matatag na kondisyon ng exposure at epektibong pinipigilan ang mga depekto sa proseso na dulot ng mga pagbabago sa pressure. Ito ay may mahalagang papel sa pagtitiyak ng kalidad ng imaging, pagkakapareho ng linewidth, at pangkalahatang katatagan ng proseso sa mga aplikasyon ng photolithography.Piliin ang M&R NANO TECHNOLOGY para sa de-kalidad na kagamitan sa proseso ng semiconductor at optoelectronic at maaasahang customized na pagmamanupaktura.
Sensor ng Presyon
M&R ay nagbibigay ng mataas na katumpakan na mga pressure sensor na dinisenyo partikular para sa mga exposure system, na nagsisilbing mga kritikal na bahagi para sa pagmamanman ng vacuum chambers at pneumatic environments sa loob ng lithography equipment. Sa pamamagitan ng patuloy na pagsukat ng pressure ng silid na may mataas na katumpakan, ang sensor ay tumutulong na mapanatili ang matatag na kondisyon ng exposure at epektibong pinipigilan ang mga depekto sa proseso na dulot ng mga pagbabago sa pressure. Ito ay may mahalagang papel sa pagtitiyak ng kalidad ng imaging, pagkakapareho ng linewidth, at pangkalahatang katatagan ng proseso sa mga aplikasyon ng photolithography.
Mga Teknikal na Tampok at Mga Bentahe ng Pagsasama
Ang pressure sensor ay may stainless-steel na housing para sa tibay at naglalaman ng high-sensitivity na MEMS sensing element, na nagbibigay ng mabilis na tugon at pangmatagalang katatagan ng sukat sa ilalim ng mahihirap na kondisyon ng proseso. Ang pamantayang module ay sumusuporta sa malawak na saklaw ng sukat mula -100 kPa hanggang 1 MPa, na may katumpakan na hanggang ±0.25% FS (buong sukat). Maraming pagpipilian ng output signal ang magagamit upang paganahin ang tuluy-tuloy na integrasyon sa iba't ibang sistema ng kontrol ng tool ng exposure. Maaaring magbigay ng mga opsyonal na configuration, kabilang ang iba't ibang saklaw ng presyon at mga bersyon na hindi sumasabog, upang matugunan ang mga tiyak na kinakailangan sa kagamitan at kaligtasan. Sa mataas na katumpakan, katatagan, at pagiging tugma nito, ang pressure sensor ng M&R ay isang pangunahing bahagi ng pagsukat para sa pagpapanatili ng matatag na proseso ng exposure at mataas na ani sa pagmamanupaktura.
I-download Mainit na Produkto
Sensor ng PresyonPropesyonal na Custom na Semiconductor at Optoelectronic na Kagamitan sa Proseso
M&R NANO TECHNOLOGY ay nagbibigay ng mataas na kalidad na Sensor ng Presyon at kagamitan sa proseso ng semiconductor at optoelectronic na dinisenyo para sa mga advanced na semiconductor, optoelectronic, at mga aplikasyon sa pagsubok.Ang aming linya ng produkto ay kinabibilangan ng detalyadong Mask Aligners, Spin Coaters, at Developers na ginawa sa aming pasilidad sa Taoyuan, Taiwan na may malakas na kakayahan sa awtomasyon.
Nakatuon kami sa paghahatid ng matatag na kalidad at tumpak na pag-customize sa pamamagitan ng aming in-house na R&D at teknolohiya ng miniaturization. Tinitiyak nito na ang bawat sistema ay nakakatugon sa mahigpit na mga kinakailangan sa proseso habang pinapanatili ang praktikal na tibay, mababang gastos, at mataas na kahusayan para sa mga end-user.
Para sa mga pandaigdigang mamimili, M&R NANO TECHNOLOGY ay nag-aalok ng maaasahang suporta sa pagmamanupaktura na nagpapadali sa proseso ng pagkuha. Nagbibigay kami ng tumutugon na komunikasyon, mahusay na integrasyon ng awtomasyon, at pare-parehong pagpapanatili pagkatapos ng benta upang matulungan ang mga customer na matagumpay na ilunsad ang kanilang kagamitan sa proseso ng semiconductor & optoelectronic sa produksyon.