Sensor Tekanan

Sensor tekanan

Sensor Tekanan - Sensor tekanan
  • Sensor Tekanan - Sensor tekanan

Sensor Tekanan

M&R menyediakan sensor tekanan presisi tinggi yang dirancang khusus untuk sistem eksposur, berfungsi sebagai komponen penting untuk memantau ruang vakum dan lingkungan pneumatik dalam peralatan litografi. Dengan terus-menerus mengukur tekanan ruang dengan akurasi tinggi, sensor ini membantu menjaga kondisi eksposur yang stabil dan secara efektif mencegah cacat proses yang disebabkan oleh fluktuasi tekanan. Ini memainkan peran kunci dalam memastikan kualitas pencitraan, konsistensi lebar garis, dan stabilitas proses secara keseluruhan dalam aplikasi fotolitografi.

Fitur Teknis dan Keuntungan Integrasi

Sensor tekanan ini dilengkapi dengan rumah stainless steel untuk daya tahan dan menggabungkan elemen penginderaan MEMS yang sangat sensitif, memberikan respons cepat dan stabilitas pengukuran jangka panjang di bawah kondisi proses yang menuntut. Modul standar mendukung rentang pengukuran yang luas dari -100 kPa hingga 1 MPa, dengan akurasi hingga ±0,25% FS (skala penuh). Berbagai opsi sinyal keluaran tersedia untuk memungkinkan integrasi yang mulus dengan berbagai sistem kontrol alat eksposur. Konfigurasi opsional, termasuk berbagai rentang tekanan dan versi tahan ledakan, dapat disediakan untuk memenuhi persyaratan peralatan dan keselamatan tertentu. Dengan presisi tinggi, stabilitas, dan kompatibilitasnya, sensor tekanan M&R adalah komponen penginderaan kunci untuk menjaga proses eksposur yang stabil dan hasil produksi yang tinggi.


Sensor TekananPeralatan Proses Semikonduktor & Optoelektronik Kustom Profesional

M&R NANO TECHNOLOGY menyediakan Sensor Tekanan berkualitas tinggi dan peralatan proses semikonduktor & optoelektronik yang dirancang untuk aplikasi semikonduktor, optoelektronik, dan pengujian yang canggih.Rangkaian produk kami mencakup Mask Aligners, Spin Coaters, dan Developers yang diproduksi di fasilitas kami di Taoyuan, Taiwan dengan kemampuan otomatisasi yang kuat.

Kami fokus pada penyampaian kualitas yang stabil dan kustomisasi yang tepat melalui R&D internal dan teknologi miniaturisasi kami. Ini memastikan bahwa setiap sistem memenuhi persyaratan proses yang ketat sambil mempertahankan daya tahan praktis, biaya rendah, dan efisiensi tinggi untuk pengguna akhir.

Untuk pembeli global, M&R NANO TECHNOLOGY menawarkan dukungan manufaktur yang dapat diandalkan yang menyederhanakan proses pengadaan. Kami menyediakan komunikasi yang responsif, integrasi otomatisasi yang efisien, dan pemeliharaan purna jual yang konsisten untuk membantu pelanggan berhasil membawa peralatan proses semikonduktor & optoelektronik mereka ke dalam produksi.