本压力传感器采用不锈钢外壳结构，核心感测组件为高灵敏度 MEMS 芯片，兼具快速反应与长时间量测稳定性，能在严苛制程环境下持续提供可靠数据。标准模块具备宽广的量测范围（-100 kPa 至 1 MPa），精度最高可达 ±0.25%FS（全量程），并支持多种输出讯号格式，方便整合至不同曝光机控制系统。依实际需求，亦可提供不同量测范围版本与防爆型等选配方案，以满足各类设备与安全规范。整体而言，科毅的压力传感器以高精度、高稳定性与高度兼容性，成为保障曝光制程稳定运作的关键感测组件。