प्रेशर सेंसर
M&R उच्च-सटीकता वाले दबाव सेंसर प्रदान करता है जो विशेष रूप से एक्सपोजर सिस्टम के लिए डिज़ाइन किए गए हैं, जो लिथोग्राफी उपकरणों के भीतर वैक्यूम चेंबर और वायवीय वातावरण की निगरानी के लिए महत्वपूर्ण घटक के रूप में कार्य करते हैं। उच्च सटीकता के साथ चेंबर दबाव को लगातार मापकर, सेंसर स्थिर एक्सपोजर स्थितियों को बनाए रखने में मदद करता है और दबाव में उतार-चढ़ाव के कारण होने वाले प्रक्रिया दोषों को प्रभावी ढंग से रोकता है। यह फोटोलिथोग्राफी अनुप्रयोगों में इमेजिंग गुणवत्ता, लाइन चौड़ाई की स्थिरता और समग्र प्रक्रिया स्थिरता सुनिश्चित करने में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है।
तकनीकी विशेषताएँ और एकीकरण के लाभ
प्रेशर सेंसर में durability के लिए स्टेनलेस-स्टील का आवास है और इसमें एक उच्च-संवेदनशील MEMS संवेदन तत्व शामिल है, जो मांगलिक प्रक्रिया की स्थितियों के तहत तेज प्रतिक्रिया और दीर्घकालिक माप स्थिरता प्रदान करता है। मानक मॉड्यूल -100 kPa से 1 MPa तक के व्यापक माप सीमा का समर्थन करता है, जिसकी सटीकता ±0.25% FS (पूर्ण पैमाना) तक है। विभिन्न एक्सपोजर टूल नियंत्रण प्रणालियों के साथ निर्बाध एकीकरण सक्षम करने के लिए कई आउटपुट सिग्नल विकल्प उपलब्ध हैं। विभिन्न दबाव रेंज और विस्फोट-प्रूफ संस्करणों सहित वैकल्पिक कॉन्फ़िगरेशन, विशिष्ट उपकरण और सुरक्षा आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए प्रदान किए जा सकते हैं। इसके उच्च सटीकता, स्थिरता, और संगतता के साथ, M&R का दबाव सेंसर स्थिर एक्सपोजर प्रक्रियाओं और उच्च उत्पादन उपज बनाए रखने के लिए एक प्रमुख संवेदन घटक है।
प्रेशर सेंसरपेशेवर कस्टम सेमीकंडक्टर और ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक प्रक्रिया उपकरण
M&R नैनो प्रौद्योगिकी उच्च गुणवत्ता वाले प्रेशर सेंसर और अर्धचालक एवं ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक प्रक्रिया उपकरण प्रदान करती है, जो उन्नत अर्धचालक, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक, और परीक्षण अनुप्रयोगों के लिए डिज़ाइन किए गए हैं।हमारी उत्पाद श्रृंखला में विस्तृत मास्क संरेखक, स्पिन कोटर्स और डेवलपर्स शामिल हैं, जो हमारे ताइवान के ताओयुआन संयंत्र में मजबूत स्वचालन क्षमताओं के साथ निर्मित हैं।
हम अपने इन-हाउस अनुसंधान एवं विकास और लघुकरण प्रौद्योगिकी के माध्यम से स्थिर गुणवत्ता और सटीक अनुकूलन प्रदान करने पर ध्यान केंद्रित करते हैं। यह सुनिश्चित करता है कि प्रत्येक प्रणाली सख्त प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा करती है जबकि व्यावहारिक स्थायित्व, कम लागत और अंतिम उपयोगकर्ताओं के लिए उच्च दक्षता बनाए रखती है।
वैश्विक खरीदारों के लिए, M&R नैनो प्रौद्योगिकी विश्वसनीय निर्माण समर्थन प्रदान करता है जो स्रोत प्रक्रिया को सरल बनाता है। हम ग्राहकों को उनके सेमीकंडक्टर और ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक प्रक्रिया उपकरणों को उत्पादन में लाने में मदद करने के लिए प्रतिक्रियाशील संचार, कुशल स्वचालन एकीकरण और लगातार बिक्री के बाद रखरखाव प्रदान करते हैं।

