曝光機驅動器

曝光機的驅動器負責接收控制系統指令並精準驅動馬達，是平台運動控制的關鍵元件。其高解析度電流控制與高速閉迴路運算，可確保平台在加減速、微位移與高速掃描時維持平滑穩定的動態表現，提升對位與曝光精度。

科毅科技的驅動器支援多軸同步運動，可同時協調 X/Y/θ 等平台軸向，使曝光定位更一致，特別適合高解析度微影製程。內建過壓、過流、過熱、短路 等多重保護機制，有效降低設備損壞風險，提升系統可靠度。科毅科技的曝光機驅動器適用於晶圓載台、對位平台與掃描曝光平台，是確保曝光機能達到高精度與高穩定度的重要核心元件。