曝光机驱动器

曝光机的驱动器负责接收控制系统指令并精准驱动马达，是平台运动控制的关键组件。其高分辨率电流控制与高速闭回路运算，可确保平台在加减速、微位移与高速扫描时维持平滑稳定的动态表现，提升对位与曝光精度。

科毅科技的驱动器支持多轴同步运动，可同时协调 X/Y/θ 等平台轴向，使曝光定位更一致，特别适合高分辨率微影制程。内建过压、过流、过热、短路 等多重保护机制，有效降低设备损坏风险，提升系统可靠度。科毅科技的曝光机驱动器适用于晶圆载台、对位平台与扫描曝光平台，是确保曝光机能达到高精度与高稳定度的重要核心组件。