جهاز طلاء دوار أوتوماتيكي
تُعرف أجهزة الطلاء الدورانية الأوتوماتيكية باستقرارها العالي وقابليتها للتكرار في عمليات طلاء الرقائق، مما يجعلها مناسبة بشكل خاص لخطوط الإنتاج الضخم، ومراكز البحث والتطوير التي تتطلب رقابة صارمة على الجودة، والتطبيقات التي تتطلب التحكم الدقيق في سمك الفيلم. تكمن أكبر ميزة لها في عمليتها الأوتوماتيكية بالكامل، حيث تكمل عملية التوزيع، والتسريع، والدوران، والتجفيف، مما يضمن طلاء كل رقاقة تحت ظروف متسقة تمامًا. وهذا يقلل بشكل كبير من تباين سمك الفيلم والأخطاء البشرية، مما يحسن من تجانس الطلاء.
الأسباب الرئيسية لاختيار جهاز الطلاء الدوار الآلي تشمل: الحاجة إلى أفلام متجانسة للغاية، وزيادة القدرة الإنتاجية، وتقليل العبء التشغيلي، وتجنب انحرافات سمك الفيلم الناتجة عن حجم السائل غير المستقر وسرعة الدوران، وإقامة عمليات طلاء موحدة وقابلة للإنتاج بكميات كبيرة. بالمقارنة مع المعدات شبه الأوتوماتيكية أو اليدوية، فإنها تحل تمامًا مشاكل مثل عدم اتساق سمك الفيلم، والتباينات التجريبية الكبيرة، والتوزيع اليدوي غير الدقيق. تغطي التطبيقات طلاء المواد الحساسة للضوء، وتصنيع MEMS، ومواد البصريات الإلكترونية، وتصنيع المستشعرات، ومعالجة ما قبل التعبئة، وأبحاث الأفلام النانوية. بشكل عام، يحقق جهاز الطلاء الآلي توازنًا مثاليًا بين متطلبات الجودة العالية واحتياجات الإنتاج الضخم، مما يجعله قطعة أساسية من المعدات لإنشاء عملية طلاء مستقرة وقابلة للتحكم.
ميزات المعدات
تشمل ميزات المعدات نظام توزيع آلي، منحنيات تسارع قابلة للبرمجة، تحكم عالي الدقة في المحرك، استقرار سرعة مغلق، منصة امتصاص فراغ، وغرفة طلاء مغلقة ونظيفة، مما يسمح بالتحكم الدقيق في سمك الفيلم من مستويات النانومتر إلى الميكرومتر. حتى أثناء التشغيل المستمر، تحافظ على استقرار عالٍ، غير متأثرة بتغيرات المشغل.
مزايا جهاز الطلاء الدوار الأوتوماتيكي لـ M&R
جهاز الطلاء الدوراني الآلي بالكامل من M&R هو معدات عملية عالية الجودة مصممة خصيصًا للتطبيقات الصناعية التي تتطلب طلاء دقيق للمواد الحساسة للضوء أو السوائل العملية، مثل شاشات العرض المسطحة، والدوائر المطبوعة (PCBs)، وأشباه الموصلات، وتغليف الدوائر المتكاملة، والصمامات الثنائية الباعثة للضوء (LEDs)، والخلايا الشمسية، والمكونات الإلكترونية، والمكونات البصرية الإلكترونية. الوظيفة الأساسية لهذا الجهاز هي تحقيق طلاء موحد للمواد الحساسة للضوء على الشرائح أو الركائز، مع دعم وظائف عملية متعددة لضمان تشغيل خط إنتاج عالي الجودة وفعال.
<p>تم تصميم جهاز الطلاء الآلي من M&R مع مراعاة الأتمتة والاستقرار العالي. إنه مناسب للأقراص أو الركائز التي تتراوح من 2 بوصة إلى 12 بوصة. تستخدم هيكله مواد مقاومة للتآكل ومقاومة للاهتراء مثل PP وSUS وPTFE وسبائك الألمنيوم وPVC، مما يضمن متانة المعدات ونظافة العملية.
من حيث الوظائف الرئيسية والتكوينات، فإن جهاز الطلاء الدوراني الأوتوماتيكي بالكامل لـ M&R يحقق عملية أوتوماتيكية بالكامل من المعالجة المسبقة إلى الخبز:
- التعامل مع الرقائق/الركائز ونقلها: تأتي المعدات مزودة بذراع نقل آلي، مما يتيح النقل والاستقبال التلقائي للرقائق أو الركائز من الصناديق إلى منطقة الطلاء. تتميز بقدرات رسم الخرائط، وقارئات RFID، وقراءة معرف الرقاقة لضمان تتبع المواد والتحكم في العملية.
- التغطية والخبز: المكون الأساسي يتضمن وحدة لوح ساخن + لوح بارد لأداء الخبز اللين قبل تغطية الطلاء الضوئي، والخبز الصلب بعد التغطية، أو خطوات التبريد المطلوبة خلال العملية، مما يضمن سمك فيلم الطلاء الضوئي المستقر.
- التنظيف والتنفيس: يدمج الجهاز نظام تنظيف دوار ورذاذ DIW/N2، ووحدة تنظيف برذاذ المذيب/DIW، ووظيفة إزالة الضباب المطور المنفصلة لضمان عملية نظيفة ومنع بقايا الجسيمات أو المواد الكيميائية من التأثير على جودة العملية.
- التحكم في النظام: تعتمد المعدات على بنية تحكم PLC + IPC وتدعم واجهات الاتصال SECS/GEM، مما يتيح التحكم السلس والمعياري في عملية الماكينة بأكملها ويسهل التكامل مع أنظمة إدارة المصنع.
من خلال هذه الوظائف الشاملة للأتمتة، فإن آلة الطلاء الدوارة الأوتوماتيكية بالكامل M&R لا تحسن فقط كفاءة الإنتاج بشكل كبير، بل تضمن أيضًا استقرار العملية، والتجانس، وقابلية التكرار من خلال تحديد المواقع بدقة والتحكم في الحلقة المغلقة.
المواصفات
- الأحجام القابلة للتطبيق: من 2 بوصة إلى 12 بوصة.
- جهازان لتدوير الطلاء، محركات دوارة (10-6000 دورة في الدقيقة).
- صمام السحب الخلفي لمورد المواد الكيميائية (مقاوم للضوء، منظف الحواف) + نظام رش الفوهة.
- صمام السحب الخلفي للتنظيف (DIW، N2) + نظام رش الفوهة.
- نظام تصريف السوائل المهدرة.
- فلتر HEPA EPA كامل المساحة (متوافق مع الفئة 100)، مزيل الشحنات الاستاتيكية، إضاءة ضوء أصفر، عادم جهاز الطلاء الدوراني.
- ذراع نقل الرقاقة مزدوجة الذراع + آلة فحص حواف الرقاقة.
- رفان للكاسيت.
- وظيفة رسم الخرائط، قارئ RFID، قارئ معرف الرقاقة، جهاز حماية التداخل.
- لوحة تسخين + لوحة تبريد.
- واجهة التحكم PLC + IPC.
تكوين
- وحدتان لتغطية فوتوريسيت بالدوران (شوك لحجم شريحة واحدة).
- نظام رش فوتوريسيت (إمداد خزان الضغط).
- نظام تصريف مياه الصرف الصحي (تصريف المصنع).
- جهاز حماية التداخل، وظيفة كشف مستوى خزان الضغط، كاشف تسرب، زر أمان الطوارئ EMO.
- ذراع نقل الرقاقة مزدوجة الذراع + آلة فحص حواف الرقاقة.
- رفوف كاسيت مفتوحة.
- وظيفة رسم الخرائط، قارئ RFID، قارئ معرف الرقاقة، جهاز حماية التداخل.
- لوحة تسخين + لوحة تبريد.
- واجهة تحكم PLC + IPC، تخزين سجل البرنامج.
- فلتر HEPA كامل المنطقة (متوافق مع الفئة 100)، مزيل الشحنات الكهربائية، إضاءة دافئة.
خيارات
- مجموعات متعددة من شُوك وأجهزة توسيط بأحجام مختلفة.
- DIW، مادة تنظيف، نظام رش N2 (خزان ضغط أو إمداد المصنع).
- نظام رش غسل الحواف وغسل الخلف (خزان ضغط أو إمداد المصنع).
- تحكم صمام تدفق السائل العكسي (يمنع التنقيط).
- شوك تيفلون.
- إمداد فوتوريسيت مخصص يتصل مباشرة بزجاجات PR الخاصة بالعميل.
- وزن زجاجة إمداد فوتوريسيت (يراقب حجم الرش والجرعة المتبقية).
- بروتوكول الاتصال بالمعدات SECS/GEM
تطبيقات
- شاشات العرض المسطحة
- لوحات الدوائر المطبوعة (PCBs)
- الصناعات التي تتطلب طلاء الفوتوريسيت، مثل أشباه الموصلات، تعبئة الدوائر المتكاملة، بطاريات الليثيوم، وغيرها من التطبيقات الإلكترونية والإلكترونيات الضوئية وتخزين الطاقة.
جهاز طلاء دوار أوتوماتيكيمعدات عمليات أشباه الموصلات والأجهزة البصرية المخصصة المحترفة
تقدم شركة M&R نانو تكنولوجي معدات معالجة عالية الجودة جهاز طلاء دوار أوتوماتيكي وأشباه الموصلات والأجهزة البصرية المصممة لتطبيقات أشباه الموصلات المتقدمة والأجهزة البصرية والاختبار.تشمل مجموعة منتجاتنا أجهزة محاذاة القناع المفصلة، وأجهزة الطلاء الدورانية، والمطورات المصنعة في منشأتنا في تاويون، تايوان، مع قدرات أتمتة قوية.
نحن نركز على تقديم جودة مستقرة وتخصيص دقيق من خلال البحث والتطوير والتقنية المصغرة الخاصة بنا. وهذا يضمن أن كل نظام يلبي متطلبات العملية الصارمة مع الحفاظ على المتانة العملية، وانخفاض التكلفة، وارتفاع الكفاءة للمستخدمين النهائيين.
بالنسبة للمشترين العالميين، تقدم تقنية نانو M&R دعم تصنيع موثوق يبسط عملية التوريد. نحن نوفر تواصلًا سريعًا، وتكاملًا فعالًا للأتمتة، وصيانة مستمرة بعد البيع لمساعدة العملاء على إدخال معدات عمليات أشباه الموصلات والأجهزة البصرية في الإنتاج بنجاح.


