Masque photo
M&R fournit des services de fabrication de photomasques haute résolution et à faible défaut pour soutenir les processus de lithographie MEMS, optoélectronique, capteurs et semi-conducteurs. En utilisant des substrats à haute planéité et des films de chrome (Cr) de haute qualité, M&R garantit un transfert de motif précis lors de l'exposition, aidant les clients à améliorer les taux de réussite en lithographie et à raccourcir les cycles de R&D et de production pilote. Que ce soit pour le développement de processus, le prototypage ou la production en petites séries, M&R offre un support de photomask stable et fiable.
En termes de matériaux et de qualité de fabrication, M&R propose des solutions de photomasques personnalisées basées sur les exigences de mise en page et de processus des clients. Des substrats en quartz ou en verre à haute planéité sont combinés avec du chrome optiquement stable ou des matériaux optiques spécialisés pour soutenir le transfert de motifs de caractéristiques à l'échelle micrométrique à l'échelle nanométrique. De plus, M&R offre des services complets de prétraitement et de post-traitement, y compris l'inspection de mise en page, la conversion de données, la vérification dimensionnelle et l'inspection des défauts, permettant aux clients de se concentrer sur le développement des processus et l'augmentation de la production en toute confiance. Un délai d'exécution rapide et une qualité constante ont fait de M&R un partenaire photomask à long terme pour les instituts académiques et les clients industriels.
M&R Capacités de photomasque et avantages des services
M&R propose la fabrication de photomasques et des services de support technique complets, y compris les masques principaux pour la génération de motifs originaux et les masques de reproduction à des fins de duplication. Les tailles de photomasques couvrent les normes industrielles courantes, généralement comprises entre 4 pouces et 9 pouces, avec un support pour des masques extra-larges allant jusqu'à 24 pouces sur demande. Une large sélection de matériaux de substrat est disponible, y compris du verre sodocalcique, du quartz, du quartz fondu, ainsi que des options spéciales telles que le film Mylar et les masques d'émulsion, pour répondre à des exigences de processus diverses.
La fabrication de photomasques suit un processus rigoureux en six étapes, de la conception CAO et la conversion des données FAO à la fabrication, le nettoyage, l'inspection et l'expédition finale, garantissant une qualité constante et une fiabilité du processus. De plus, s'appuyant sur plus de 25 ans d'expérience dans les processus de photolithographie, M&R propose également des solutions avancées de remplacement de masques pour les systèmes de lithographie par contact. Grâce à un design mécanique optimisé, des plateformes de mandrin à vide et des modules d'alignement de précision tels que des broches de nivellement à trois points, M&R permet un positionnement rapide et précis des masques. Cette solution est compatible avec des systèmes d'exposition semi-automatiques pour des plaquettes de 2 pouces à 12 pouces, améliorant ainsi la stabilité de l'alignement et l'efficacité opérationnelle.
Masque photoÉquipement de processus semi-conducteurs et optoélectroniques sur mesure
M&R NANO TECHNOLOGY fournit des équipements de processus de haute qualité en Masque photo et en semi-conducteurs & optoélectronique, conçus pour des applications avancées en semi-conducteurs, optoélectronique et tests.Notre gamme de produits comprend des aligneurs de masques détaillés, des revêtements par rotation et des développeurs fabriqués dans notre usine de Taoyuan, à Taïwan, dotée de fortes capacités d'automatisation.
Nous nous concentrons sur la livraison d'une qualité stable et d'une personnalisation précise grâce à notre R&D interne et à notre technologie de miniaturisation. Cela garantit que chaque système répond à des exigences de processus strictes tout en maintenant une durabilité pratique, un faible coût et une haute efficacité pour les utilisateurs finaux.
Pour les acheteurs mondiaux, M&R NANO TECHNOLOGY offre un support de fabrication fiable qui simplifie le processus d'approvisionnement. Nous fournissons une communication réactive, une intégration d'automatisation efficace et un entretien après-vente constant pour aider les clients à mettre en production avec succès leur équipement de traitement des semi-conducteurs et optoélectroniques.

