تتميز مطور M&R شبه الأوتوماتيكي بمحرك سيرفو AC ونظام تحكم في السرعة عالي الدقة، مع نظام تغذية ورش أوتوماتيكي. يمكنه إجراء تطوير الفوتوريسيت، والتنظيف، وتجفيف النيتروجين، ويدير عدة وصفات عبر PLC ولوحة لمس، مما يضمن الاستقرار والتكرارية.
يجمع مطور M&R شبه التلقائي بين الأتمتة والتصميم سهل الاستخدام، ويتميز بهندسة اتصالات شبه، ونظام مراقبة في الوقت الحقيقي، وآليات حماية السلامة، مما يوازن بين المرونة والاستقرار في التشغيل. يوفر نظام الدرج المدفوع بالمحرك دورانًا عالي الدقة وخطأ مسطح منخفض، ومع دمجه مع وحدة التغذية والرذاذ التلقائية، فإنه يحسن بشكل فعال اتساق العملية. بالمقارنة مع الأنظمة الأوتوماتيكية بالكامل، فإن النماذج شبه الأوتوماتيكية تقلل التكاليف مع الحفاظ على كفاءة وموثوقية عالية، مما يجعلها مناسبة كحل متوازن بين الإنتاج الضخم والبحث والتطوير.
 
تتحكم المطور شبه الأوتوماتيكي لـ M&R تلقائيًا في وقت التطوير، ومعدل تدفق السائل، وطريقة التحريك لضمان حصول كل شريحة على نفس ظروف المعالجة، مما يتجنب الإفراط في التطوير، والتطوير الناقص، وتvariations في عرض الخط الناتجة عن التشغيل اليدوي. تستبدل العمليات الآلية التوقيت اليدوي والتحريك، مما يقلل بشكل فعال من تباين العمليات، ويجعل نتائج العمليات أكثر قابلية للتنبؤ، ويسهل إنشاء عمليات تطوير موحدة. الاحتفاظ بتحميل الفيلم يدويًا وتبديل المواد، جنبًا إلى جنب مع التحكم في التطوير المبرمج، يسمح لموظفي البحث والتطوير بضبط الظروف بسرعة مع الحفاظ على نتائج مستقرة، مما يحقق توازنًا مثاليًا بين البحث والتطوير والإنتاج على نطاق صغير. تجنب واجهة المستخدم الواضحة والعمليات المبسطة التحريك اليدوي المطول أو المراقبة، مما يحسن كفاءة العمل والسلامة. إنه أكثر فعالية من حيث التكلفة من الأنظمة الآلية بالكامل، وله هيكل مقاوم للتآكل، وسهل الصيانة، ويمكن استخدامه بشكل مستقر لفترة طويلة، وله تكاليف صيانة منخفضة.

المواصفات

• الإطار: هيكل SUS، WPP
• مواصفات المحرك: محرك سيرفو تيار متردد
• سرعة المحرك: 10-3000 دورة في الدقيقة
• دقة السرعة: سرعة ثابتة +/-1%
• آلية الفوهة: مغذي تلقائي وفوهتين لمطوّر، مغذي تلقائي مزدوج وفوهتين لمياه DIW وN2
• حجم الرقاقة القابل للتطبيق: 2”-8”
• آلية الوسادة: مقاومة للسيراميك/الحمض والقلويات، حافة بزاوية 45 درجة لمنع اختراق PR
• استواء الوسادة: <10um
• طريقة التشغيل: تغذية تلقائية
• نظام التحكم: PLC + لوحة لمس، 30 وحدة وصفة قابلة للتكوين
• أجهزة الأمان: حماية من تسرب فراغ الوسادة، كشف الفراغ، حماية قاطع الدائرة من التسرب

تكوين

• محرك دوار للمغزل
• آلية التحمل
• نظام التحكم
• أجهزة السلامة
• نظام المحامل السائلة/الهوائية

خيارات

• بنية اتصالات معدات SEMI
• هيكل ذراع الالتقاط والتوزيع الأوتوماتيكي
• نظام المراقبة في الوقت الحقيقي

تطبيقات

• مناسب لعمليات تطوير المواد الحساسة للضوء على رقائق أو قواعد تتراوح من 2 بوصة إلى 8 بوصات
• تصنيع أشباه الموصلات
• لوحات الكترونية ضوئية
• مختبرات MEMS والطباعة الحجرية
• مناسب بشكل خاص للإنتاج التجريبي على نطاق صغير إلى متوسط واحتياجات البحث والتطوير